[发明专利]高硬度高弹性模量CrAlN/AlON纳米多层涂层材料及其制备方法有效
| 申请号： | 201010597430.8 | 申请日： | 2010-12-17 |
| 公开（公告）号： | CN102011093A | 公开（公告）日： | 2011-04-13 |
| 发明（设计）人： | 李伟;刘平;郑康培;马凤仓;刘新宽;陈小红;杨丽红 | 申请（专利权）人： | 上海理工大学 |
| 主分类号： | C23C14/06 | 分类号： | C23C14/06;C23C14/34 |
| 代理公司： | 上海新天专利代理有限公司 31213 | 代理人： | 祖志翔 |
| 地址： | 200093 *** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种高硬度高弹性模量CrAlN/AlON纳米多层涂层材料，其由多个CrAlN层和AlON层构成，各CrAlN层和AlON层交替沉积在基体上形成纳米量级多层结构，其总厚度为1.9～2.5μm，每一CrAlN层厚度为5nm，每一AlON层厚度为0.3-1.8nm；本发明还公开了该纳米多层涂层材料的制备方法，其首先将基体作表面抛光处理，经超声波清洗和离子清洗后，再采用反应溅射法在基体上交替溅镀CrAlN层和AlON层。本发明不但具有高于30GPa的硬度和高于300GPa的弹性模量，而且还具有高抗高温氧化能力和优良的耐腐蚀能力，可作为高速切削刀具及其它高温条件下服役耐磨工件的保护涂层，其制备方法具有工艺简单、沉积速度快、成本低、结合强度高等优点。 | ||
| 搜索关键词： | 硬度 弹性模量 craln alon 纳米 多层 涂层 材料 及其 制备 方法 | ||
【主权项】：
一种高硬度高弹性模量CrAlN/AlON纳米多层涂层材料，其特征在于：所述涂层材料由多个CrAlN层和AlON层构成，各CrAlN层和AlON层交替沉积在基体上形成纳米量级多层结构，其总厚度为1.9‑2.5μm，每一CrAlN层厚度为5nm，每一AlON层厚度为0.3‑1.8nm。
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