[发明专利]离子束源无效
| 申请号： | 201010593088.4 | 申请日： | 2010-12-14 |
| 公开（公告）号： | CN102157324A | 公开（公告）日： | 2011-08-17 |
| 发明（设计）人： | 约翰·麦克内尔;保罗·乔治·贝内特 | 申请（专利权）人： | SPP处理技术系统英国有限公司 |
| 主分类号： | H01J37/08 | 分类号： | H01J37/08;H01J37/244;H01J37/34;H01J37/24 |
| 代理公司： | 中科专利商标代理有限责任公司 11021 | 代理人： | 王波波 |
| 地址： | 英国格*** | 国省代码： | 英国;GB |
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| 摘要： | 本发明涉及一种与非导电靶(14)一起使用的离子束源(10)，包括：栅格(13)，用于提取离子；以及电源，用于向栅格(13)提供脉冲式电源以提取离子。 | ||
| 搜索关键词： | 离子束 | ||
【主权项】：
一种与非导电靶一起使用的离子束源，包括：栅格，用于提取离子；以及电源，用于向栅格提供脉冲式电源以提取离子。
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