[发明专利]一种三维位置跟踪测量装置及其测量方法

摘要

本发明属于测量领域，具体地说是一种三维位置跟踪测量装置及其测量方法，装置包括干涉仪本体、干涉计镜组、偏差检测系统、二维随动系统、目标反射镜及第一、二转向元件，方法为干涉仪本体发射的激光光路依次通过干涉计镜组、分光元件，经第一、二转向元件转向后照射到目标反射镜上，目标反射镜反射的光经两个转向元件后照射到偏差检测系统上，通过分光元件分为两路，一路反射回干涉仪本体，另一路照射在光斑位置传感器上；再将检测出的偏移量转换成位移信号后传递给二维随动系统中的各伺服电机，带动第一、二转向元件移动，使第一、二转向元件准确跟踪目标反射镜。本发明测量精度高，结构简单，便携性好；测量方法简单，可靠性强。

主权项

一种三维位置跟踪测量装置，其特征在于：包括干涉仪本体(1)、干涉计镜组(2)、偏差检测系统(3)、二维随动系统(4)、第一转向元件(5)、目标反射镜(6)及第二转向元件(9)，其中干涉仪本体(1)、偏差检测系统(3)及二维随动系统(4)分别安装在支撑件(7)上，目标反射镜(6)安装在被测机器人(8)的末端执行器上，干涉仪本体(1)的激光输出端设有干涉计镜组(2)，所述第一转向元件(5)及第二转向元件(9)分别安装在二维随动系统(4)上，第一转向元件(5)具有平行于激光光路的一个移动自由度，第二转向元件(9)具有平行于激光光路及垂直于激光光路的两个移动自由度；所述偏差检测系统(3)包括分光元件(301)及光斑位置传感器(302)，干涉仪本体(1)发射的激光光路依次通过干涉计镜组(2)、分光元件(301)，经第一转向元件(5)、第二转向元件(9)转向后照射到目标反射镜(6)上，目标反射镜(6)反射的光经第二转向元件(9)及第一转向元件(5)后照射到偏差检测系统(3)上，通过分光元件(301)分为两路，一路反射回干涉仪本体(1)，另一路照射在光斑位置传感器(302)上。