[发明专利]一种磁控靶布气结构无效
| 申请号： | 201010585115.3 | 申请日： | 2010-12-13 |
| 公开（公告）号： | CN102534521A | 公开（公告）日： | 2012-07-04 |
| 发明（设计）人： | 王福同;郭东民;徐刚;冯彬;安赟;佟辉;张以忱;刘定文;佟雷;杨颖 | 申请（专利权）人： | 中国科学院沈阳科学仪器研制中心有限公司;中科能（青岛）节能工程有限公司;南车四方车辆有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/35 | 分类号： | C23C14/35 |
| 代理公司： | 沈阳科苑专利商标代理有限公司 21002 | 代理人： | 白振宇 |
| 地址： | 110168 辽*** | 国省代码： | 辽宁;21 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明属于磁控溅射领域，具体地说是一种磁控靶布气结构，包括靶座、极靴、靶材、磁钢及屏蔽罩，其中靶座位于样品的下方，在靶座内设有极靴，靶座的顶部安装有靶材，靶座及靶材外设有屏蔽罩；所述磁钢安装在极靴上，磁钢的上端面沿轴向截面为斜角；在屏蔽罩与靶座之间设有溅射气体通道，溅射气体通过该溅射气体通道被引导至靶材的上表面；在屏蔽罩的外部设有反应气体的进气管，反应气体通过该进气管被引导至样品的下表面。本发明提高了靶材和工作气体的利用率，提高了镀膜的均匀性，降低了成本，提高收益。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 磁控靶布气 结构 | ||
【主权项】：
一种磁控靶布气结构，其特征在于：包括靶座(9)、极靴(12)、靶材(7)、磁钢及屏蔽罩(6)，其中靶座(9)位于样品(1)的下方，在靶座(9)内设有极靴(12)，靶座(9)的顶部安装有靶材(7)，靶座(9)及靶材(7)外设有屏蔽罩(6)；所述磁钢安装在极靴(12)上，磁钢的上端面沿轴向截面为斜角；在屏蔽罩(5)与靶座(9)之间设有溅射气体通道(16)，溅射气体通过该溅射气体通道(16)被引导至靶材(7)的上表面；在屏蔽罩(5)的外部设有反应气体的进气管(4)，反应气体通过该进气管(4)被引导至样品(1)的下表面。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于中国科学院沈阳科学仪器研制中心有限公司;中科能（青岛）节能工程有限公司;南车四方车辆有限公司，未经中国科学院沈阳科学仪器研制中心有限公司;中科能（青岛）节能工程有限公司;南车四方车辆有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201010585115.3/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：一种射频等离子体增强CVD法制备氧化镁纳米带的方法
- 下一篇：粉末镀膜设备
- 同类专利
- 专利分类
