[发明专利]循环系统及方法有效

专利信息
申请号: 201010584010.6 申请日: 2010-12-10
公开(公告)号: CN102476355A 公开(公告)日: 2012-05-30
发明(设计)人: 徐宏信 申请(专利权)人: 亚泰半导体设备股份有限公司
主分类号: B24B57/00 分类号: B24B57/00
代理公司: 上海宏威知识产权代理有限公司 31250 代理人: 金利琴
地址: 中国台湾新竹*** 国省代码: 中国台湾;71
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摘要: 发明公开一种循环系统及方法,此循环系统由第一循环回路连接压力容器的出口、帮浦及阀体组,且阀体组连接压力容器的入口,使粒子溶液由循环帮浦循环流动于第一循环回路、阀体组与压力容器之间,以达到对压力容器中的粒子溶液进行搅拌的目的,并由第二循环回路连接压力容器的出口、至少一第一磁浮帮浦、第二磁浮帮浦及阀体组、用以将粒子溶液输送到工具机,并由第二磁浮帮浦于第二循环回路末端将粒子溶液经过阀体组输送到压力容器的入口,以完成循环输送粒子溶液的目的。
搜索关键词: 循环系统 方法
【主权项】:
一种循环系统,其特征在于,包含:一压力容器,其容纳一粒子溶液,且具有一加压进气口、一循环出口及多个循环入口,所述加压进气口接收一高压气体,以增加所述压力容器内的压力;一第一循环回路,包含一第一节点与一第二节点,所述第一节点连接所述循环出口;一阀体组,设置于所述第二节点与所述循环入口之间;一帮浦,设置于所述第一节点与所述第二节点间,并通过所述第一节点,将所述压力容器中部分的粒子溶液由所述循环出口经所述第一节点输出,再经由所述第一循环回路、所述阀体组及所述循环入口流回压力容器中;以及一第二循环回路,连接在所述第一节点及所述第二节点之间,所述压力容器中部分的粒子溶液由所述循环出口经所述第一节点循环流动于所述第二循环回路中,并由所述第二节点及所述阀体组及所述循环入口流回到所述压力容器中。
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