[发明专利]对称倾斜折叠梁结构电容式微加速度传感器有效
| 申请号： | 201010583972.X | 申请日： | 2010-12-10 |
| 公开（公告）号： | CN102128953A | 公开（公告）日： | 2011-07-20 |
| 发明（设计）人： | 车录锋;李伟;林友玲;王跃林 | 申请（专利权）人： | 中国科学院上海微系统与信息技术研究所 |
| 主分类号： | G01P15/125 | 分类号： | G01P15/125;B81B3/00 |
| 代理公司： | 上海智信专利代理有限公司 31002 | 代理人： | 潘振甦 |
| 地址： | 200050 *** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种对称倾斜折叠梁结构电容式微加速度传感器。所述的加速度传感器由一个对称的中心质量块、外部支撑框架、中心质量块与外部支撑框架相连接的八根对称倾斜折叠梁结构以及上、下盖板组成。对称的中心质量块由顶端质量块和底端质量块键合组成，每根倾斜折叠梁的内脚连接在中心质量块侧面的顶端或底端，外脚连接在外部支撑框架内侧面，整个结构上下对称。本加速度传感器的特点是弹性梁采用对称倾斜折叠梁结构，同时具有一定的对称性，有效的抑制了传感器的交叉轴灵敏度。微加速度传感器采用微电子机械系统技术制作，使器件能够形成更大尺寸的敏感质量块，使器件具有高的分辨率和灵敏度。 | ||
| 搜索关键词： | 对称 倾斜 折叠 结构 电容 式微 加速度 传感器 | ||
【主权项】：
一种对称倾斜折叠梁结构电容式微加速度传感器，其特征在于所述的加速度传感器包括一个对称的中心质量块、外部支撑框架、中心质量块与外部支撑框架相连接的八根对称倾斜折叠梁结构以及上、下盖板，其中：(1)对称的中心质量块由顶端质量块和底端质量块组成，对称倾斜折叠梁结构由四根顶端倾斜折叠梁和四根底端倾斜折叠梁组成；(2)每根倾斜折叠梁的内脚连接在中心质量块侧面的顶端或底端，外脚连接在外部支撑框架内侧面；(3)中心质量块上、下表面电极分别与上盖板下表面电极、下盖板上表面电极构成电容，构成差分电容式微加速度传感器。
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