[发明专利]单晶硅棒抛光用高孔隙率陶瓷结合剂砂轮制备方法

摘要

一种单晶硅棒抛光用高孔隙率陶瓷结合剂砂轮制备方法，步骤为：将海绵板按所需砂轮规格裁剪，再清洗干燥待用；将金刚石磨料与硼玻璃粉、长石粉、石英粉按一定质量比在球磨条件下混合均匀后，与水玻璃溶液按比例配成陶瓷浆料；将海绵板放入密闭容器中抽真空，用导管向容器中导入陶瓷浆料浸渍海绵板，保压；取出浸渍有陶瓷浆料的海绵板，干燥，擦去表面多余浆料，再干燥；重复浸渍、干燥步骤2次；将浸渍完全的海绵板在80℃烘箱中干燥24小时，放入井式炉，用白刚玉完全掩埋，在N2保护下烧结，700℃保温1小时，随炉冷却；将烧结后的砂轮坯体进行外圆、内圆和平面加工，即得。本方法可制备出组织结构一致，孔隙含量高于60％的金刚石砂轮。

主权项

一种单晶硅棒抛光用高孔隙率陶瓷结合剂砂轮制备方法，其特征是，该方法为：(1)制备陶瓷浆料：a.干粉料的重量百分比组成：金刚石(粒径10‑40μm)     48％‑52％，硼玻璃粉(粒径10‑40μm)   28％‑32％，粘土粉(粒径10‑40μm)     8％‑12％，石英粉(粒径10‑40μm)     8％‑12％；将上述各组分混合均匀，得干粉料；b.制备陶瓷浆料：按重量百分比取68％‑72％的干粉料与28％‑32％的水玻璃溶液，均匀混合，即得；(2)制备多孔金刚石砂轮：将裁剪好的海绵模板在真空条件下反复浸渍加有所述陶瓷浆料，浸渍体干燥后放入井式炉中，用粒度为240#的白刚玉完全掩埋，在N2保护下烧结，0℃～400℃的升温速率为1℃/分钟，400℃～700℃的升温速率为5℃/分钟，在700℃保温1小时；然后随炉冷却，得烧结后的砂轮坯体；将烧结后的砂轮坯体在工具磨床上进行外圆、内圆和平面加工，获得加工单晶硅棒用多孔金刚石砂轮。