[发明专利]热板温度均匀性测试方法无效
| 申请号： | 201010578121.6 | 申请日： | 2010-12-08 |
| 公开（公告）号： | CN102566284A | 公开（公告）日： | 2012-07-11 |
| 发明（设计）人： | 黄玮 | 申请（专利权）人： | 无锡华润上华科技有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20;H01L21/66 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 214028 江苏省无*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种热板温度均匀性测试方法，其包括步骤：提供两个非对称图形并放置于光刻版上，该两个非对称图形之间具有距离D1及两个非对称图形各自中心线之间具有距离L1；设定曝光后烘烤(PEB)温度；将曝光后的放置有两个非对称图形的圆片进行曝光后烘烤，形成潜像图形，两个非对称图形之间的距离变化为D2且两个非对称图形各自中心线之间的距离变化为L2；上述两个非对称图形组成光刻机的对位标记或特定测试结构，利用光刻机的对位系统测定各对位标记或特定测试结构的坐标/距离，并比较测试值和理论数值的差异以定量反映热板温度的均匀性。本发明利用非对称图形经过PEB后最终形成的潜像图像的中心发生偏移的特性，定量反应热板温度的均匀性。 | ||
| 搜索关键词： | 温度 均匀 测试 方法 | ||
【主权项】：
一种热板温度均匀性测试方法，其特征在于：其包括步骤：步骤一：提供两个非对称图形并放置于光刻版上，该两个非对称图形之间具有距离D1及两个非对称图形各自中心线之间具有距离L1；步骤二：设定曝光后烘烤(PEB)温度；步骤三：将曝光后有两个非对称图形的圆片进行曝光后烘烤，形成潜像图形，两个非对称图形之间的距离变化为D2且两个非对称图形各自中心线之间的距离变化为L2；步骤四：上述两个非对称图形组成光刻机的对位标记或特定测试结构，利用光刻机的对位系统测定各对位标记或特定测试结构的坐标/距离，并比较测试值和理论数值的差异以定量反映热板温度的均匀性。
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