[发明专利]光刻控制方法无效
| 申请号： | 201010578063.7 | 申请日： | 2010-12-08 |
| 公开（公告）号： | CN102540733A | 公开（公告）日： | 2012-07-04 |
| 发明（设计）人： | 黄玮;邹永祥;胡骏;张辰明;刘志成;段天利 | 申请（专利权）人： | 无锡华润上华科技有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 214028 江苏省无*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种光刻控制方法，其中，包括以下步骤：第一步、采集在光刻过程中圆片数据；第二步、进行SPC分析；第三步、若符合控制规范，则继续光刻作业，若不符合控制规范，则自动停止当前光刻作业。与现有技术相比，本发明的有益效果是：及时发现不合格圆片，保证生产质量。 | ||
| 搜索关键词： | 光刻 控制 方法 | ||
【主权项】：
一种光刻控制方法，其特征在于，包括以下步骤：第一步、采集在光刻过程中圆片数据；第二步、进行SPC分析；第三步、若符合控制规范，则继续光刻作业，若不符合控制规范，则自动停止当前光刻作业。
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