[发明专利]晶圆检测系统

摘要

本发明是关于一种晶圆检测系统，其是用以对一晶圆进行检测，该系统包括：一载台；一探针卡，具有多个探针及一开孔，所述探针是接触晶圆以传送及接收电性信号；一照明器，通过开孔照射至晶圆上；一测试工作服务器，是供控制以执行检测相关程序及资料处理；至少一影像处理装置；一控制电路板；至少一测试电路板，是发送测试信号，接收结果信号并进行判断；一负载板，连接至该控制电路板及至少一测试电路板；至少一影像处理卡；以及至少一继电器电路板，分别连接至探针卡、负载板及至少一影像处理卡，用以切换流入资料的流向。

主权项

一种晶圆检测系统，其是用以对一晶圆进行检测，该系统包括：一载台，用以放置该晶圆；一探针卡，其上具有多个探针、以及一开孔，所述探针直接接触该晶圆以传送以及接收电性信号；一照明器，通过该探针卡的该开孔照射至该晶圆上；一测试工作服务器，连接至该照明器，供控制以执行晶圆检测的相关程序以及资料处理；一负载板；至少一继电器电路板，分别连接至该探针卡、以及该负载板，用以切换流入资料的流向；至少一影像处理卡，是一一对应至该至少一继电器电路板并与之相连接，用以处理所接收的影像信号；至少一影像处理装置，连接至该测试工作服务器、以及该至少一影像处理卡，接收来自该至少一影像处理卡的影像信号并进行处理，然后将测试结果传送至该测试工作服务器；一控制电路板，连接至该测试工作服务器、以及该负载板，接收该测试工作服务器所发送的命令，并通过该负载板发送控制命令；以及至少一测试电路板，连接至该负载板，依据所接收的控制命令发送测试信号，对所接收的结果信号进行判断，并将判断结果经该负载板传送至该控制电路板。