[发明专利]一种超高纯氨水中微量钙离子的检测方法有效

专利信息
申请号: 201010575063.1 申请日: 2010-12-06
公开(公告)号: CN102455321A 公开(公告)日: 2012-05-16
发明(设计)人: 殷建林;曹传兴 申请(专利权)人: 江苏达诺尔半导体超纯科技有限公司
主分类号: G01N27/64 分类号: G01N27/64
代理公司: 苏州广正知识产权代理有限公司 32234 代理人: 张利强
地址: 215522 江*** 国省代码: 江苏;32
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摘要: 发明涉及一种超高纯氨水中微量钙离子的检测方法,通过对样品稀释处理,采用标准液信号比对的测试方法,直接测定超纯水和超纯氨水稀释液中的微量钙离子的浓度值,通过精确计算,得到产品中微量钙离子的含量,本发明消除了系统误差,提高了方法的精确度。分析工序简便快捷,数据可靠,成本低廉的特点,适合工业生产中的快速检测。
搜索关键词: 一种 高纯 氨水 微量 离子 检测 方法
【主权项】:
一种超高纯氨水中微量钙离子的检测方法,其特征在于该检测方法包括下列步骤:一、质谱条件仪器型号:安捷伦ICP‑MS 7500a;标准液型号:安捷伦公司钙离子标准液8500‑6940;进样方法:全聚氟乙烯雾化枪G3139‑65102;测量方式:冷焰方式;功率:900W;59信号值:1680;背景信号值80:2.1;二、检验方法与计算①、检验方法(1)安捷伦公司销售的10ppm的钙离子标准液8500‑6940,量取1ml,加入99ml超纯水,得100ppb溶液,再取1ml 100ppb溶液,加入99ml超纯水,得到1ppb钙离子标准液,通过全聚氟乙烯PFA进样管取样上机测试,得钙离子浓度信号值A1;(2)待其信号值稳定后,直接取电阻率达18.2MΩ·cm的纯水,全聚氟乙烯PFA进样管取样上机测定,得超纯水中的钙离子浓度信号值B1;(3)称取超纯氨水,加入超纯水,稀释Y倍,得到浓度为4‑6%的检测用的稀氨水样品,用5%的超纯硝酸溶液进样,洗净全聚氟乙烯PFA进样管,待仪器信号稳定后,再用上述4‑6%的氨水样品,取样,上机测试,得稀释后氨水混合液中钙离子浓度信号值B2;(4)如步骤(1)预先配置好中性的1ppb标准液,在再向该溶液中加入1ml配置好的4‑6%的超纯氨水得加入4‑6%稀氨水的1ppb的钙离子标准溶液,通过全聚氟乙烯PFA进样管取样上机测试,得钙离子浓度信号值A2;②、计算N水=B1*1000/A1;N样=B2*1000/A2;X=Y*N样‑(Y‑1)*N水;X:最终氨水样品中钙浓度;N水:超水中钙离子含量;N样:稀释后氨水混合液中钙离子含量;Y:稀释的倍数;三、检验标准超纯氨水中微量钙离子含量控制在5‑100ppt。
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