[发明专利]激光平面度检测仪

摘要

本发明为一种激光平面度检测仪由激光器、五棱镜、转台、激光器、四维工作台、PSD位置传感器、计算机数据采集单元、数据处理单元、基座及平面反射镜组成。激光器发出的光经转台中心经五棱镜反射后水平射出。五棱镜随转台转动，经五棱镜水平射出的激光也随之水平转动，此水平的激光光束转动形成了基准平面。在被测平面上放置PSD位置传感器便可测量出被测点相对于激光光束基准平面的高度差，经数据处理后便可得出被检面平面度误差。

主权项

激光平面度检测仪，其特征在于：由五棱镜(2)、转台(3)、激光器(4)、四维工作台(5)、位置传感器PSD(6)、数据采集单元(7)、数据处理单元(8)、基座(9)及平面反射镜(10)组成；在基座(9)底部的中间位置放置平面反射镜(10)，在基座(9)底部和侧部的位置放置四维工作台(5)，激光器(4)固定在四维工作台(5)上，转台(3)具有一中心孔，五棱镜(2)放置在转台(3)中心孔位置处的工作面上，五棱镜(2)出射光随转台(3)旋转成的基准平面始终与五棱镜(2)的入射光垂直；激光器(4)发出的激光光束垂直向上穿过转台(3)，经五棱镜(2)后水平射出；激光器(4)的激光光束与转台(3)的转轴重合；水平出射的激光光束随转台(3)的转动形成水平基准平面与转台(3)的转轴垂直；基座(9)放置在被测工件(1)的中央，将PSD位置传感器(6)放置在被测工件(1)的被测点处，将激光光束旋转到PSD位置传感器(6)的靶面上；PSD位置传感器(6)测量出被测件(1)被测点处与五棱镜(2)旋转成的基准平面的高度差，经数据采集单元(7)、数据处理单元(8)对高度差进行数据处理得出被测工件(1)的平面度。