[发明专利]电子束诱导金属沉积增强悬空纳米管器件横向刚度的方法有效
| 申请号： | 201010563410.9 | 申请日： | 2010-11-26 |
| 公开（公告）号： | CN102053180A | 公开（公告）日： | 2011-05-11 |
| 发明（设计）人： | 房丰洲;徐宗伟;肖茵静 | 申请（专利权）人： | 天津大学 |
| 主分类号： | G01R3/00 | 分类号： | G01R3/00;B82Y40/00 |
| 代理公司： | 天津市北洋有限责任专利代理事务所 12201 | 代理人： | 程毓英 |
| 地址： | 300072*** | 国省代码： | 天津;12 |
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| 摘要： | 本发明属于纳米管器件技术领域，涉及一种电子束诱导金属沉积增强悬空纳米管器件横向刚度的方法，包括下列步骤：将需要刚度优化的悬空纳米管器件置于聚焦电子束设备样品台上；通过电子束成像系统对纳米管器件进行形貌观测，调整聚焦电子束设备的工作距离；加热金属有机化合物使其变成气态，并使金属有机化合物气体流过悬空纳米管器件；然后开启聚焦电子束设备的聚焦电子束发生器，对纳米管器件的局部或全部进行电子束扫描照射；在电子束指定照射区域，在电子束的照射轰击下，金属化合物气体被分解，金属沉积物沉积到受电子束照射的纳米管上；达到预期沉积参数后，停止电子束照射，关闭金属有机化合物气体阀门，并停止对其加热。本发明提出的方法稳定可靠，对悬空纳米管器件可实现不同特征结构的横向刚度控制，定位精度高、灵活性好。 | ||
| 搜索关键词： | 电子束 诱导 金属 沉积 增强 悬空 纳米 器件 横向 刚度 方法 | ||
【主权项】：
一种电子束诱导金属沉积增强悬空纳米管器件横向刚度的方法，包括下列步骤：1)将需要刚度优化的悬空纳米管器件置于聚焦电子束设备样品台上；2)通过电子束成像系统对纳米管器件进行形貌观测，调整聚焦电子束设备的工作距离；3)加热金属有机化合物使其变成气态，并使金属有机化合物气体流过悬空纳米管器件；4)然后开启聚焦电子束设备的聚焦电子束发生器，对纳米管器件的局部或全部进行电子束扫描照射；5)在电子束指定照射区域，在电子束的照射轰击下，金属化合物气体被分解，金属沉积物沉积到受电子束照射的纳米管上；6)达到预期沉积参数后，停止电子束照射，关闭金属有机化合物气体阀门，并停止对其加热。
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