[发明专利]一种太阳能电池金属化过程中金属栅线对准方法有效

专利信息
申请号: 201010550353.0 申请日: 2010-11-19
公开(公告)号: CN102101396A 公开(公告)日: 2011-06-22
发明(设计)人: 邢国强;周鹏宇;何恬;孙海平 申请(专利权)人: 奥特斯维能源(太仓)有限公司
主分类号: B41M1/12 分类号: B41M1/12;H01L31/18;H01L31/0224
代理公司: 南京苏高专利商标事务所(普通合伙) 32204 代理人: 徐激波
地址: 215434 江苏省*** 国省代码: 江苏;32
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摘要: 发明公开了一种太阳能电池金属化过程中金属栅线对准方法,该方法包括以下步骤:第一步:通过在扩散或者其它过程中在硅片的主栅设计位置的四个顶端上分别设计一个标记图案,该标记图案的要求如下:形状为圆形的组合、或同心方形的组合、或圆形及同心方形的组合;第二步:通过在意大利Baccini(巴奇尼)印刷机自带的对准软件上分析这个标记图形,可以精确的计算出该图形的中心位置,从而可以精确计算出指定区域与印刷网版图形中心的ΔX(横向偏移-平行于主栅的坐标),ΔY(纵向偏移-垂直于主栅的坐标),Δθ(角度偏移),根据这些数据在印刷过程中加入补偿值,便可以达到精确印刷的要求。
搜索关键词: 一种 太阳能电池 金属化 过程 金属 对准 方法
【主权项】:
一种太阳能电池金属化过程中金属栅线对准方法,其特征在于:该方法包括以下步骤:  第一步:通过在扩散或者其它过程中在硅片的主栅设计位置的四个顶端上分别设计一个标记图案,该标记图案的要求如下:  形状为圆形的组合、或同心方形的组合、或圆形及同心方形的组合;  尺寸要求:主栅宽度为D(D>0.4mm);对于标记圆,圆半径R为0.2 mm≤R <D/2;对于同心方形,内方形边长L1为0.1 mm ≤L1< D,外方形边长L2为0.2 mm ≤L3< D;第二步:通过在意大利Baccini(巴奇尼)印刷机自带的对准软件上分析这个标记图形,可以精确的计算出该图形的中心位置,从而可以精确计算出指定区域与印刷网版图形中心的ΔX(横向偏移‑平行于主栅的坐标),ΔY(纵向偏移‑垂直于主栅的坐标),Δθ(角度偏移),根据这些数据在印刷过程中加入补偿值,便可以达到精确印刷的要求。
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