[发明专利]一种低能耗低成本的氮化硅粉末制备方法无效

专利信息
申请号: 201010548900.1 申请日: 2010-11-18
公开(公告)号: CN102030536A 公开(公告)日: 2011-04-27
发明(设计)人: 闻本良 申请(专利权)人: 宁波华标特瓷采油设备有限公司
主分类号: C04B35/584 分类号: C04B35/584;C04B35/626
代理公司: 杭州九洲专利事务所有限公司 33101 代理人: 翁霁明
地址: 315503 浙江省宁波市*** 国省代码: 浙江;33
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摘要: 一种低能耗低成本的氮化硅粉末制备方法,该方法是:利用硅粉直接氮化法原理进行氮化合成反应,氮化反应是在氮化炉中进行的,氮化炉内的温度由炉壁内的发热体和控温系统来调节;主要由如下步骤:一是直接氮化合成反应,选用99.99%的单晶硅粉粉末作为原料,将原料在氮化炉中1250℃下煅烧、保温30-38h,保温过程中通入N2的流量为4L/min的氮化条件下进行;二是将煅烧得到氮化硅粉料进行球磨、酸洗等后处理,获得纯度高达99.99%的Si3N4粉体;它具有:(1)反应迅速:一般在38-40h内完成合成反应;(2)耗能低,直接氮化温度比传统的低;(3)设备简单、投资小、通用性强;(4)氮化活性高,制备时间较短。
搜索关键词: 一种 能耗 低成本 氮化 粉末 制备 方法
【主权项】:
一种低能耗低成本的氮化硅粉末制备方法,该方法是:利用硅粉直接氮化法原理进行氮化合成反应,氮化反应是在氮化炉中进行的,氮化炉内的温度由炉壁内的发热体和控温系统来调节;其特征在于:一是直接氮化合成反应,选用99.99%的单晶硅粉粉末作为原料,将原料在氮化炉中1250℃下煅烧、保温30‑38h,保温过程中通入N2流量为4L/min的氮化条件下进行;二是将煅烧得到氮化硅粉料进行球磨、酸洗等后处理,获得纯度高达99.99%的Si3N4 粉体。
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