[发明专利]一种有机发光显示器件制备方法无效

专利信息
申请号: 201010547696.1 申请日: 2010-11-17
公开(公告)号: CN102468450A 公开(公告)日: 2012-05-23
发明(设计)人: 吴玉琦;徐洪光 申请(专利权)人: 上海广电电子股份有限公司
主分类号: H01L51/56 分类号: H01L51/56;G03F7/00
代理公司: 上海申汇专利代理有限公司 31001 代理人: 吴宝根
地址: 201204 上海市浦东新*** 国省代码: 上海;31
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摘要: 发明涉及一种有机电致发光显示器件制备方法,在基板上形成ITO阳极,在阳极层上形成绝缘层和阴极隔离层,在阴极隔离层上再沉积各种有机层和金属阴极层。本发明之绝缘层和阴极隔离柱是通过两次曝光,一次显影一次后烘的工艺来形成的。这种制备方法克服现有有机电致发光器件基板制造技术中的不足,工艺简单、生产成本降低,同时提高良品率和生产效率。
搜索关键词: 一种 有机 发光 显示 器件 制备 方法
【主权项】:
一种有机发光显示器件制备方法,其特征在于,先制作一个已刻有金属电极和ITO阳极图案的基板,然后通过正性光刻胶的一次涂布,在ITO表面覆盖上一层均匀分布的绝缘层胶膜,再进行前烘,曝光,接着根据绝缘层的种类进行一定时间的坚膜,接着用负性光刻胶在绝缘层上旋涂上一层厚度均匀的膜层,再进行前烘,曝光,坚膜,再通过使用有机显影液,控制显影条件,可以同时获得相应图形的绝缘层和形成倒三角形状,最后将该基板放入无尘烤箱中,在220℃的高温下后烘1个小时,有机发光器件的基板就完成,在这种基板上通过蒸发或旋涂的方法制备有机功能层和金属背电极。
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