[发明专利]一种有机发光显示器件制备方法无效
| 申请号: | 201010547696.1 | 申请日: | 2010-11-17 |
| 公开(公告)号: | CN102468450A | 公开(公告)日: | 2012-05-23 |
| 发明(设计)人: | 吴玉琦;徐洪光 | 申请(专利权)人: | 上海广电电子股份有限公司 |
| 主分类号: | H01L51/56 | 分类号: | H01L51/56;G03F7/00 |
| 代理公司: | 上海申汇专利代理有限公司 31001 | 代理人: | 吴宝根 |
| 地址: | 201204 上海市浦东新*** | 国省代码: | 上海;31 |
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| 摘要: | 本发明涉及一种有机电致发光显示器件制备方法,在基板上形成ITO阳极,在阳极层上形成绝缘层和阴极隔离层,在阴极隔离层上再沉积各种有机层和金属阴极层。本发明之绝缘层和阴极隔离柱是通过两次曝光,一次显影一次后烘的工艺来形成的。这种制备方法克服现有有机电致发光器件基板制造技术中的不足,工艺简单、生产成本降低,同时提高良品率和生产效率。 | ||
| 搜索关键词: | 一种 有机 发光 显示 器件 制备 方法 | ||
【主权项】:
一种有机发光显示器件制备方法,其特征在于,先制作一个已刻有金属电极和ITO阳极图案的基板,然后通过正性光刻胶的一次涂布,在ITO表面覆盖上一层均匀分布的绝缘层胶膜,再进行前烘,曝光,接着根据绝缘层的种类进行一定时间的坚膜,接着用负性光刻胶在绝缘层上旋涂上一层厚度均匀的膜层,再进行前烘,曝光,坚膜,再通过使用有机显影液,控制显影条件,可以同时获得相应图形的绝缘层和形成倒三角形状,最后将该基板放入无尘烤箱中,在220℃的高温下后烘1个小时,有机发光器件的基板就完成,在这种基板上通过蒸发或旋涂的方法制备有机功能层和金属背电极。
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H01L51-00 使用有机材料作有源部分或使用有机材料与其他材料的组合作有源部分的固态器件;专门适用于制造或处理这些器件或其部件的工艺方法或设备
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