[发明专利]一种直线驱动装置及应用该装置的半导体处理设备

摘要

本发明提供一种直线驱动装置，其包括相互连接的中心轴、安装连接部、波纹管、导向连接部、直线动力源以及支撑杆；其中，中心轴在导向连接部及支撑杆的配合作用下进行高精度的直线往复运动，波纹管则用于使中心轴所处的密闭腔室与外界保持密封。由于上述支撑杆及导向连接部均被波纹管隔离在密闭腔室的外部而不会与密闭腔室发生相互影响，从而可有效避免导向部件的润滑物对密闭腔室造成污染的问题，同时也可避免密闭腔室内的高温及真空环境对导向部件的精度及使用寿命产生影响的问题，因而使本发明提供的直线驱动装置具有导线精度高及使用寿命长的优点。此外，本发明还提供一种应用上述直线驱动装置的半导体处理设备。

主权项

一种直线驱动装置，用于在密闭腔室中提供直线运动的驱动力，包括中心轴、安装连接部、波纹管、直线动力源以及支撑杆，其中所述安装连接部将所述直线驱动装置固定于所述密闭腔室的外部，所述安装连接部上具有安装孔；所述中心轴的一端穿过所述安装孔而进入所述密闭腔室的内部，并可在所述密闭腔室内进行直线往复运动；所述中心轴的另一端与所述直线动力源相连接，以获得来自所述直线动力源的直线驱动力；所述波纹管套装于所述中心轴的外部，且波纹管的两端分别与所述安装孔及中心轴上的远离所述密闭腔室的端部进行密封连接，以将所述密闭腔室与波纹管外部的空间相互隔离；所述支撑杆将所述直线动力源与所述安装连接部固定连接在一起；其特征在于，所述支撑杆的数量至少为2个且相互平行，所述中心轴上设置有导向连接部，所述导向连接部可滑动地套装在所述支撑杆的外部，所述中心轴在所述导向连接部及支撑杆的配合作用下沿所述支撑杆的轴向方向进行直线往复运动。