[发明专利]扫描光学设备和使用其的成像设备

摘要

本申请涉及扫描光学设备和使用其的成像设备。所述扫描光学设备包括扫描单元、偏转器。扫描单元的每一个包括光源、成像光学系统，该成像光学系统包括将由偏转器偏转的光束成像在扫描表面上的成像光学元件。用光束在相反方向上对扫描表面进行扫描。当第一扫描单元的主扫描方向是Y正方向时，θ1h(Y1min)×θ1r与θ2h(Y1min)×θ2r之间的符号相同。这里，θ1h(y)、θ2h(y)表示在第一/第二成像光学元件离光轴的Y方向位置y处在Y轴与慢轴之间的取向角，每个该成像光学元件是在成像光学系统的成像光学元件之中具有最大厚度的成像光学元件，θ1r和θ2r表示在Y轴与到达成像光学元件的光束的偏振方向之间的角，及Y1min表示θ1h(y)成为最小的Y位置。

主权项

一种扫描光学设备，包括：第一扫描单元；第二扫描单元；以及偏转单元，其偏转光束以扫描，并且该偏转单元由所述第一扫描单元和所述第二扫描单元共享，其中：所述第一扫描单元包括第一光源单元、第一入射光学系统以及第一成像光学系统，该第一入射光学系统将从所述第一光源单元发射的光束引导到所述偏转单元的第一偏转表面，该第一成像光学系统设置在从所述第一光源单元发射的并且由所述偏转单元偏转的所述光束的光路中并且包括至少一个成像光学元件，该至少一个成像光学元件用于将由所述第一偏转表面偏转的光束成像在第一待扫描表面上；所述第二扫描单元包括第二光源单元、第二入射光学系统以及第二成像光学系统，该第二入射光学系统将从所述第二光源单元发射的光束引导到所述偏转单元的第二偏转表面，该第二偏转表面与用于偏转来自所述第一光源单元的光束的所述第一偏转表面不同，该第二成像光学系统设置在从所述第二光源单元发射的并且由所述偏转单元偏转的光束的光路中并且包括至少一个成像光学元件，该至少一个成像光学元件用于将由所述第二偏转表面偏转的光束成像在第二待扫描表面上；在主扫描方向上的彼此相反的方向上通过所述偏转单元的旋转，来自所述第一光源单元的光束和来自所述第二光源单元的光束扫描所述第一待扫描表面和所述第二待扫描表面；以及当将在所述第一成像光学系统中包括的所述至少一个成像光学元件中的在光轴方向上具有最大的厚度最大值的成像光学元件定义为第一成像光学元件、将在所述第二成像光学系统中包括的所述至少一个成像光学元件中的在光轴方向上具有最大的厚度最大值的成像光学元件定义为第二成像光学元件、以及将在所述主扫描方向上的用来自所述第一光源单元的光束扫描所述第一待扫描表面的方向定义为Y轴的正方向时，满足如下表达式：在满足θ1h(Y1min)×θ1r＞0的情况下，θ2h(Y1min)×θ2r＞0，和在满足θ1h(Y1min)×θ1r＜0的情况下，θ2h(Y1min)×θ2r＜0，其中：θ1h(y)和θ2h(y)分别表示在所述第一成像光学元件和所述第二成像光学元件中的、当将在Y轴与包括光轴的垂直于Y轴的平面之间的交点当作Y轴的原点时、在Y轴方向上的位置y处的作为在所述主扫描方向与慢轴方向之间的角的取向角；θ1r和θ2r分别表示在Y轴与到达所述第一成像光学元件和所述第二成像光学元件的光束的偏振方向之间的角；以及Y1min表示取向角θ1h(y)成为最小的在Y轴方向上的位置。