[发明专利]一种微机械百叶窗的制作方法

摘要

本发明涉及一种微机械百叶窗制造方法，包括以下步骤：1)选取不锈钢基片并在其上下表面上制备一层正性光刻胶并进行预固化；2)采用矩形孔阵列作为掩膜进行曝光；预固化后的下表面的光刻胶不曝光；3)将基片显影并完成光刻胶的全固化，之后进行腐蚀，并去胶清洁；4)在基片上下表面喷涂正性光刻胶并进行预固化；5)在基片下表面的光刻胶上，采用扭梁式百叶窗腐蚀图形阵列作为掩膜曝光，基片上表面不曝光；6)将基片显影并完成光刻胶的全固化，之后进行腐蚀并去胶清洗；7)制作百叶窗基底；8)将百叶窗窗叶结构和基底组装后固定，并完成上下电极引线。本方法使得可以采用不锈钢作为结构材料，使微机械百叶窗具有较长的寿命和较高的可靠性。

主权项

一种微机械百叶窗的制作方法，包括以下步骤：1)选取不锈钢基片，并对其表面进行清洁处理；2)在不锈钢基片的上下表面上，采用喷涂法制备一层正性光刻胶，并根据光刻胶的型号选择预固化温度，对光刻胶进行预固化；3)在基片上表面预固化后的光刻胶上，采用矩形孔阵列作为掩膜，在曝光机下进行曝光；预固化后的下表面的光刻胶不曝光，作为保护膜使用；4)将基片在显影液中浸泡进行显影；5)将完成显影的基片烘烤以完成光刻胶的全固化；6)将完成固化的基片放入腐蚀液中进行腐蚀，待基片腐蚀区域留下的厚度到达设计的范围后停止离蚀；7)将完成腐蚀的基片放入光刻胶去胶溶液进行去胶，然后进行清洁；8)在步骤7)完成的半面腐蚀的基片上下表面喷涂正性光刻胶，并对光刻胶进行预固化；9)在基片下表面的光刻胶上，采用扭梁式百叶窗腐蚀图形阵列作为掩膜，在曝光机下进行曝光，基片上表面不曝光，作为保护膜使用；10)将基片在显影液中浸泡进行显影；11)将完成显影的基片烘烤以完成光刻胶的全固化；12)将完成固化的基片放入腐蚀液中进行腐蚀，待基片腐蚀区域不锈钢薄膜被全部腐蚀后停止腐蚀；13)将完成腐蚀的基片放入光刻胶去胶溶液进行去胶，然后进行清洗；14)采用与不锈钢基片等大的高热导率金属材料作为微型热控百叶窗基底，然后在上表面制备一层高红外发射率、高绝缘强度材料作为红外发射层和电绝缘层；15)将步骤13)完成的微型热控百叶窗窗叶结构和步骤14)完成的基底组装后固定，并完成上下电极引线。