[发明专利]一种制作多晶硅绒面的方法及腐蚀液无效
| 申请号： | 201010519969.1 | 申请日： | 2010-10-26 |
| 公开（公告）号： | CN102181936A | 公开（公告）日： | 2011-09-14 |
| 发明（设计）人： | 李建飞;汪琴霞;黄镇;郭建东;樊选东 | 申请（专利权）人： | 江阴浚鑫科技有限公司 |
| 主分类号： | C30B33/10 | 分类号： | C30B33/10 |
| 代理公司： | 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 | 代理人： | 李玉秋;冯琼 |
| 地址： | 214443 江苏省*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明提供一种用于制作多晶硅绒面的腐蚀液，包括以下浓度的成分：2摩尔/升～5摩尔/升的HF、5摩尔/升～15摩尔/升的HNO3、0.2摩尔/升～1摩尔/升的亚硝酸盐、0.1摩尔/升～0.5摩尔/升的H2SiF6和余量水。本发明在HF和HNO3中添加NaNO2和H2SiF6作为稳定剂，实验结果表明，与现有技术相比，使用本发明提供的腐蚀液制备的多晶硅绒面结构可以有效地降低对太阳光的反射率。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 制作 多晶 硅绒面 方法 腐蚀 | ||
【主权项】：
一种用于制作多晶硅绒面的腐蚀液，包括以下浓度的成分：HF 2摩尔/升～5摩尔/升；HNO3 5摩尔/升～15摩尔/升；亚硝酸盐 0.2摩尔/升～1摩尔/升；H2SiF6 0.1摩尔/升～0.5摩尔/升；余量水。
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