[发明专利]一种适用于高频应用的微机电开关和制造方法无效
| 申请号： | 201010518357.0 | 申请日： | 2010-10-26 |
| 公开（公告）号： | CN102456485A | 公开（公告）日： | 2012-05-16 |
| 发明（设计）人： | 王叶 | 申请（专利权）人： | 王叶 |
| 主分类号： | H01H3/32 | 分类号： | H01H3/32;H01H9/00;H01H11/00 |
| 代理公司： | 北京市惠诚律师事务所 11353 | 代理人： | 雷志刚 |
| 地址： | 100028 北京市朝*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明公开一种适用于高频应用的微机电开关和制造方法，包括射频电路接触体，机械结构；所述机械结构包括驱动悬臂梁，电子隔离体，接触悬臂体；所述驱动悬臂梁和接触悬臂体，以电子隔离体作为连结结构对称连接，所述接触悬臂体和所述射频电路接触体相对一侧各镀有一层金属膜。其具备了较低的驱动电压，良好的高频性能，较小的尺寸和封装的灵活性。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 适用于 高频 应用 微机 开关 制造 方法 | ||
【主权项】：
一种适用于高频应用的微机电开关，其特征在于，包括射频电路接触体，机械结构；所述机械结构包括驱动悬臂梁，电子隔离体，接触悬臂体；所述驱动悬臂梁和接触悬臂体，以电子隔离体作为连结结构对称连接，所述接触悬臂体和所述射频电路接触体相对一侧各镀有一层金属膜。
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