[发明专利]长晶方法及其机台架构无效
| 申请号: | 201010517721.1 | 申请日: | 2010-10-25 |
| 公开(公告)号: | CN102453953A | 公开(公告)日: | 2012-05-16 |
| 发明(设计)人: | 谢旭明 | 申请(专利权)人: | 宏贸科技有限公司 |
| 主分类号: | C30B15/00 | 分类号: | C30B15/00;C30B15/30;C30B29/20 |
| 代理公司: | 北京科龙寰宇知识产权代理有限责任公司 11139 | 代理人: | 孙皓晨 |
| 地址: | 中国台*** | 国省代码: | 中国台湾;71 |
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| 摘要: | 本发明提供一种长晶方法及其机台架构。本发明的长晶方法的特征是在于在凯氏长晶法的基础上,形成单晶棒的晶肩后,将夹持有晶种的晶种杆与坩锅采同方向转动,以在较佳的原料熔汤热均温下冷却生长出单晶棒的晶身部分,避免单晶棒因坩锅内原料熔汤热均温不良下易碎裂的缺失。 | ||
| 搜索关键词: | 方法 及其 机台 架构 | ||
【主权项】:
一种长晶方法,其包含有提供一坩锅与一位于该坩锅上方的晶种杆,该坩锅内承载一原料熔汤,该晶种杆底端夹设有一晶种;其特征在于:在凯氏长晶法的基础上,于形成一单晶棒的晶肩后,将该晶种杆与该坩锅采用同方向转动,以冷却生长出该单晶棒的晶身部分。
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