[发明专利]快速升降温装置及其温度控制方法

摘要

本发明公开了一种快速升降温装置及其温度控制方法，该装置包含加温单元、温度侦测单元、控制计算机、模拟输出单元、脉冲控制调变模块以及开关单元，藉由使用脉冲宽度调变方式，将现有的电热调整器取代为一结合电源供应器、波形转换电路及比较器的脉冲控制调变模块，而减少了系统的总体积、也不需分组控制，进而减少了噪声和干扰，而能够使腔体加热控制更精确，而使得提升各种快速加热对象，如晶圆、太阳能电池、光电芯片等的制程质量。

主权项

一种快速升降温装置，其特征在于，包含：一加温单元，包含用以容置欲加温的对象的一腔体以及多个加热器矩阵；一温度侦测单元，与该加温单元连接，用以测量该加温单元中该腔体的温度；一控制计算机，连接该温度侦测单元，包含一控温程序，并将用以将该温度侦测单元所侦测的该腔体的温度与一目标温度比较，并在该腔体的温度低于目标温度时，发出一模拟输出讯号；一模拟输出单元与该控制计算机连接，接收该模拟输出讯号，并将该模拟输出讯号转换为一输出电压；一脉冲控制调变模块，包含一电源供应器、一波形转换电路以及一比较器，该波形转换电路连接该电源供应器，将该电源供应器所提供的电流转换为一锯齿波或一方波，该比较器连接该波形转换电路以及该模拟输出单元，将该锯齿波或该方波与该模拟输出单元所产生的该输出电压比较并调变后，输出一脉冲宽度调变波；以及一开关单元，与该脉冲控制调变模块及该加热单元连接，依据该脉冲宽度调变波，控制该加热单元中的所述加热器矩阵的开启或关闭。