[发明专利]微机械结构和用于制造微机械结构的方法有效
| 申请号： | 201010510986.9 | 申请日： | 2010-10-08 |
| 公开（公告）号： | CN102030302A | 公开（公告）日： | 2011-04-27 |
| 发明（设计）人： | J·克拉森;C·比尔霍夫 | 申请（专利权）人： | 罗伯特·博世有限公司 |
| 主分类号： | B81B7/02 | 分类号： | B81B7/02;B81B3/00;B81C1/00;G01P15/125 |
| 代理公司： | 永新专利商标代理有限公司 72002 | 代理人： | 侯鸣慧 |
| 地址： | 德国斯*** | 国省代码： | 德国;DE |
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| 摘要： | 本发明涉及一种微机械结构，设有一个具有主延伸平面的衬底和一个可相对于该衬底沿着一个平行于该主延伸平面的第一方向运动的振动质量，其中，该微机械结构具有一个与该衬底连接的第一电极结构和一个与该衬底连接的第二电极结构，其中，该振动质量具有一个反电极结构，其中，该反电极结构的第三指形电极沿着第一方向设置在该第一电极结构的第一指形电极与该第二电极结构的第二指形电极之间，该第一电极结构还借助一个设置在该微机械结构的中心区域中的第一锚定元件固定在该衬底上，该第二电极结构借助一个设置在该中心区域中的第二锚定元件锚定在该衬底上。本发明还涉及一种用于制造微机械结构的方法。 | ||
| 搜索关键词： | 微机 结构 用于 制造 方法 | ||
【主权项】：
微机械结构(1)，设有具有主延伸平面(100)的衬底(2)和可相对于该衬底(2)沿着平行于该主延伸平面(100)的第一方向(X)运动的振动质量(3)，其中，该微机械结构(1)具有与该衬底(2)连接的第一电极结构(4，4’)和与该衬底(2)连接的第二电极结构(5，5’)，其中，该振动质量(3)具有反电极结构(6)，其中，该反电极结构(6)的第三指形电极(60)沿着第一方向(X)设置在该第一电极结构(4，4’)的第一指形电极(40，40’)与该第二电极结构(5，5’)的第二指形电极(50，50’)之间，其特征在于，该第一电极结构(4，4’)借助设置在该微机械结构(1)的中心区域(7)中的第一锚定元件(41，41’)固定在该衬底(2)上，该第二电极结构(5，5’)借助设置在该中心区域(7)中的第二锚定元件(51，51’)锚定在该衬底(2)上。
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