[发明专利]紧凑的热驱动可变光衰减器有效
| 申请号： | 201010501260.9 | 申请日： | 2010-09-26 |
| 公开（公告）号： | CN102193188A | 公开（公告）日： | 2011-09-21 |
| 发明（设计）人： | 何毅;殷露中;钟桂雄;颜军;赵京 | 申请（专利权）人： | 安捷讯公司 |
| 主分类号： | G02B26/08 | 分类号： | G02B26/08 |
| 代理公司： | 上海天翔知识产权代理有限公司 31224 | 代理人： | 刘粉宝 |
| 地址： | 美国马*** | 国省代码： | 美国;US |
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| 摘要： | 一种MEMS可变光衰减器(VOA)芯片包括一具有一平面的框架，一微电子驱动器，该驱动器设有一设置在相关的该框架平面上的可移动光闸，在那里该VOA通过热膨胀驱动。该微电子驱动器包括在施加一电流时，通过热膨胀可以被移动的半导体导体(“导线”)。在一个实施例中，该MEMS VOA芯片配置多路导线布置以限制该闸在平面内的移动。 | ||
| 搜索关键词： | 紧凑 驱动 可变 衰减器 | ||
【主权项】：
一种可变光衰减器，包括：一光闸；一包围一区域的框架，在所述区域中设置所述光闸；所述框架包括一第一电极和一第二电极；一第一导体，具有与所述第一电极固定连接的一第一末端；所述第一导体被设置为偏离连接所述第一电极和所述第二电极的线成一角度；一第二导体，具有与所述第二电极固定连接的一第一末端；所述第二导体被设置为偏离连接所述第一电极和所述第二电极的线成一个角度；所述第一导体和所述第二导体是一个三角形的两边；所述第一导体的一第二末端与所述第二导体的一第二末端连接；所述光闸与所述第一导体的所述第二末端和所述第二导体的所述第二末端连接；第一导体的所述第二末端和第二导体的所述第二末端的移动引起所述光闸的移动；所述光闸被放置在输入/输出光端口上方。
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