[发明专利]激光加工装置

摘要

本发明提供激光加工装置，即使在多个激光振荡源中的任意一个激光振荡源发生异常而无法进行激光光束的振荡的情况下，也能够在抑制装置的大型化的同时对整个工件实施激光加工。在本发明的有的实施方式中，激光加工装置(1)所具备的激光照射构件(60)具有：第一、第二激光振荡源(61a、61b)这两个激光振荡源；将由第一、第二激光振荡源(61a、61b)振荡出的激光光束分别分支为例如三条光路的第一、第二激光分支构件(63a、63b)；以及使由第一、第二激光分支构件(63a、63b)分支为三条光路后的激光光束分别向玻璃基板(W)会聚的例如三个第一、第二聚光器(62a、62b)。并且，第一聚光器(62a)和第二聚光器(62b)沿分度进给方向交替排成一列地进行配设。

主权项

一种激光加工装置，该激光加工装置包括：保持工作台，所述保持工作台保持工件；激光照射构件，所述激光照射构件对保持于所述保持工作台的所述工件照射激光光束；以及分度进给构件，所述分度进给构件使所述保持工作台与所述激光照射构件沿分度进给方向相对移动，所述激光加工装置的特征在于，所述激光照射构件具有：第一激光振荡源；第二激光振荡源；第一激光分支构件，所述第一激光分支构件将从所述第一激光振荡源振荡出的激光光束分支为多条光路；第二激光分支构件，所述第二激光分支构件将从所述第二激光振荡源振荡出的激光光束分支为多条光路；多个第一聚光透镜，所述多个第一聚光透镜使利用所述第一激光分支构件分支为多条光路后的激光光束分别向所述工件会聚；以及多个第二聚光透镜，所述多个第二聚光透镜使利用所述第二激光分支构件分支为多条光路后的激光光束分别向所述工件会聚，所述第一聚光透镜和所述第二聚光透镜在所述保持工作台的上方沿所述分度进给方向相互交替地配设。