[发明专利]光学膜片加工模具及其制作方法无效
| 申请号： | 201010296826.9 | 申请日： | 2010-09-29 |
| 公开（公告）号： | CN102433562A | 公开（公告）日： | 2012-05-02 |
| 发明（设计）人： | 许嘉麟 | 申请（专利权）人： | 鸿富锦精密工业（深圳）有限公司;鸿海精密工业股份有限公司 |
| 主分类号： | C23C28/00 | 分类号： | C23C28/00;C23C22/02;C23C16/40 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 518109 广东省深圳市*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 一种光学膜片加工模具，其包括一个模具基体，一形成于模具基体表面的氧化铝薄膜，以及一形成于所述氧化铝薄膜表面的氟化自组装单分子膜层。其中所述氧化铝薄膜是用原子层沉积技术得到的高硬度薄膜。本发明的模具具有容易脱模的特点。本发明也提供一种光学膜片加工模具的制作方法。 | ||
| 搜索关键词： | 光学 膜片 加工 模具 及其 制作方法 | ||
【主权项】：
一种光学膜片加工模具的制作方法，其包括：提供一个模具基体；利用原子层沉积技术在所述模具基体表面形成一氧化铝薄膜；以及将氟化脂肪酸与所述氧化铝薄膜进行脱水反应，在所述氧化铝薄膜表面形成一氟化自组装单分子膜层。
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