[发明专利]可同时量测加速度及压力的微机电传感器无效
| 申请号： | 201010289314.X | 申请日： | 2010-09-20 |
| 公开（公告）号： | CN102408089A | 公开（公告）日： | 2012-04-11 |
| 发明（设计）人： | 吴名清;黄志恭;白金泉;冈田和广 | 申请（专利权）人： | 利顺精密科技股份有限公司;冈田和广 |
| 主分类号： | B81B3/00 | 分类号： | B81B3/00;G01P15/12;G01L9/02 |
| 代理公司： | 中科专利商标代理有限责任公司 11021 | 代理人： | 周国城 |
| 地址： | 中国台*** | 国省代码： | 中国台湾;71 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种可同时量测加速度及压力的微机电传感器，包含有一框架、一质量块以及多个连接于该框架与该质量块之间的弹性支撑臂，使该质量块可悬置于该框架中，此外，该质量块具有一压力感测薄膜以及位于该薄膜下方的封闭腔室。通过此，该质量块除了本身可作为量测加速度用的可动感测元件之外，通过设于该质量块中的腔室以及该压力感测薄膜，可提供压力量测的功能。 | ||
| 搜索关键词： | 同时 加速度 压力 微机 传感器 | ||
【主权项】：
一种可同时量测加速度及压力的微机电传感器，其特征在于，包含有：一框架；多个弹性支撑臂，各该弹性支撑臂的一端衔接于该框架；一质量块，衔接于各该弹性支撑臂的另一端而悬置于该框架中，该质量块具有一压力感测薄膜以及位于该薄膜下方的封闭腔室。
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