[发明专利]湿处理装置及湿处理方法无效
| 申请号： | 201010285001.7 | 申请日： | 2010-09-17 |
| 公开（公告）号： | CN102404939A | 公开（公告）日： | 2012-04-04 |
| 发明（设计）人： | 林钊文 | 申请（专利权）人： | 富葵精密组件(深圳)有限公司;臻鼎科技股份有限公司 |
| 主分类号： | H05K3/00 | 分类号： | H05K3/00;B05B13/02;B05C3/02;B05C13/00 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 518103 广东省深圳*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 一种湿处理装置，包括储存槽、传送机构和喷淋机构。所述储存槽用于储存处理液。所述传送机构包括依次邻接的第一传送段、第二传送段及第三传送段。所述第一传送段、第二传送段及第三传送段均用于传送基板。所述第一传送段位于所述储存槽内，且位于所述处理液液面以下。所述第二传送段连接于第一传送段与第三传送段之间，且第二传送段的传送方向与第一传送段的传送方向成锐角。所述第三传送段位于所述处理液液面之上，第三传送段的传送方向与第一传送段的传送方向平行。所述喷淋机构与所述第三传送段相对。所述喷淋机构用于向所述第三传送段传送的基板喷淋所述储存槽中的处理液。本发明还提供一种对基板进行湿处理的方法。 | ||
| 搜索关键词： | 处理 装置 方法 | ||
【主权项】：
一种湿处理装置，用于对基板进行湿处理，所述湿处理装置包括储存槽、传送机构和喷淋机构，所述储存槽用于储存处理液，所述传送机构包括依次邻接的第一传送段、第二传送段及第三传送段，所述第一传送段、第二传送段及第三传送段均用于传送基板，所述第一传送段位于所述储存槽内，且位于所述处理液液面以下，所述第二传送段连接于第一传送段与第三传送段之间，且第二传送段的传送方向与第一传送段的传送方向成锐角，所述第三传送段位于所述处理液液面之上，第三传送段的传送方向与第一传送段的传送方向平行，所述喷淋机构与所述第三传送段相对，用于向所述第三传送段传送的基板喷淋所述储存槽中的处理液。
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