[发明专利]一种确定工件台光电传感器最佳高度的方法无效
| 申请号： | 201010280587.8 | 申请日： | 2010-09-14 |
| 公开（公告）号： | CN102402139A | 公开（公告）日： | 2012-04-04 |
| 发明（设计）人： | 赵健;毛方林 | 申请（专利权）人： | 上海微电子装备有限公司 |
| 主分类号： | G03F9/00 | 分类号： | G03F9/00;G01J1/42 |
| 代理公司： | 北京连和连知识产权代理有限公司 11278 | 代理人： | 王光辉 |
| 地址： | 201203 上海市浦*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明提供一种确定工件台光电传感器最佳高度的方法，包括步骤：a.该工件台携带该光电传感器垂向移动至一高度；b.记录该高度，且该光电传感器测量无半影效应的透光区光强作为该高度的参考光强；c.该工件台携带该光电传感器在该高度之水平向移动，该光电传感器测量水平向不同位置上的光强；d.该光电传感器依据其所测得的水平向不同位置的光强确定一预定光强的水平位置，并记录该预定光强的水平位置；e该工件台携带该光电传感器垂向移动至一下高度，并重复执行该步骤b至d，直至所有待测的垂向高度测试完成以获得垂向不同高度的预定光强的水平位置；以及f.根据所记录的不同高度及该些高度所对应的预定光强的水平位置进行求极值运算，所得的极值点即为该光电传感器的最佳高度。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 确定 工件 光电 传感器 最佳 高度 方法 | ||
【主权项】：
一种确定工件台光电传感器最佳高度的方法，其特征在于该方法包括步骤：a.该工件台携带该光电传感器垂向移动至一高度；b.记录该高度，且该光电传感器测量无半影效应的透光区光强作为该高度的参考光强；c.该工件台携带该光电传感器在该高度之水平向移动，该光电传感器测量水平向不同位置上的光强；d.该光电传感器依据其所测得的水平向不同位置的光强确定一预定光强的水平位置，并记录该预定光强的水平位置；e.该工件台携带该光电传感器垂向移动至一下高度，并重复执行该步骤b至d，直至所有待测的垂向高度测试完成以获得垂向不同高度的预定光强的水平位置；以及f.根据所记录的不同高度及该些高度所对应的预定光强的水平位置进行进行求极值运算，所得的极值点即为该光电传感器的最佳高度。
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