[发明专利]流体排放装置的头单元无效
| 申请号: | 201010278224.0 | 申请日: | 2010-09-10 |
| 公开(公告)号: | CN102335644A | 公开(公告)日: | 2012-02-01 |
| 发明(设计)人: | 崔丁元;裵哲晤 | 申请(专利权)人: | 塔工程有限公司 |
| 主分类号: | B05B15/08 | 分类号: | B05B15/08;G02F1/1339;G02F1/1333 |
| 代理公司: | 北京弘权知识产权代理事务所(普通合伙) 11363 | 代理人: | 郭放;黄启行 |
| 地址: | 韩国庆*** | 国省代码: | 韩国;KR |
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| 摘要: | 本文公开一种流体排放装置的头单元。所述头单元可利用简单结构调整喷嘴相对于基板的位置。 | ||
| 搜索关键词: | 流体 排放 装置 单元 | ||
【主权项】:
一种流体排放装置的头单元,包括:第一构件,所述第一构件以沿X轴方向移动的方式连接到头支撑件;第二构件,所述第二构件以相对于所述第一构件沿Y轴方向移动的方式设置;第三构件,所述第三构件以沿Z轴方向移动的方式连接到所述第二构件;第四构件,所述第四构件以沿Z轴方向移动的方式连接到所述第三构件,且在所述第四构件上设置有喷嘴以排放流体;第一驱动单元,所述第一驱动单元设置在所述第二构件和所述第三构件之间以相对于所述第二构件沿Z轴方向移动所述第三构件;以及第二驱动单元,所述第二驱动单元沿Y轴方向移动所述第二构件,并沿Z轴方向相对于所述第三构件移动所述第四构件。
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