[发明专利]激光加工装置及加工条件的决定方法

摘要

本发明提供一种激光加工装置及加工条件的决定方法，若脉冲激光束的频率偏差，则难以进行高质量的加工。在脉冲激光的路径内配置偏转器。偏转器若收到使激光的入射位置移动的移动指令信号，则使入射位置在加工对象物的表面移动，若入射位置的移动结束，则发送移动结束信号。开关元件切换脉冲激光入射到偏转器的打开状态和不入射到偏转器的关闭状态。控制装置存储应使激光束入射的多个加工点的位置信息和入射顺序。控制装置控制激光光源，以使脉冲激光以固定的频率出射。另外，向偏转器发送使入射位置移动至下一个加工点的移动指令信号。从偏转器接收移动结束信号为止，不将开关元件设为打开状态，从偏转器接收移动结束信号之后，同步于脉冲激光而将开关元件切换成打开状态。

主权项

一种激光加工装置，其特征在于，具有：激光光源，通过触发信号的接收出射脉冲激光束；载物台，保持加工对象物；偏转器，配置在从所述激光光源出射的脉冲激光束的路径内，若收到使脉冲激光束的入射位置移动的移动指令信号，则在保持于所述载物台的加工对象物的表面，使脉冲激光束的入射位置移动至所指令的移动目的地处，若入射位置的移动结束，则发送移动结束信号；开关元件，切换从所述激光光源出射的脉冲激光束入射到所述偏转器的打开状态和不入射到所述偏转器的关闭状态；以及控制装置，控制所述激光光源、所述偏转器及所述开关元件，所述控制装置，包含存储部，所述存储部存储应使激光束入射的多个加工点的位置信息、入射顺序及发送所述触发信号的频率信息，根据存储于所述存储部的频率信息，以固定的重复频率向所述激光光源发送触发信号，向所述偏转器发送使脉冲激光束的入射位置移动至下一个加工点的移动指令信号，向所述偏转器发送移动指令信号之后，在从所述偏转器接收移动结束信号之前，不将所述开关元件设为打开状态，从所述偏转器接收移动结束信号之后，同步于所述触发信号来将所述开关元件切换成打开状态。