[发明专利]一种聚酰亚胺膜微型快速响应湿度传感元件及其制作方法有效
| 申请号： | 201010272929.1 | 申请日： | 2010-09-03 |
| 公开（公告）号： | CN101949878A | 公开（公告）日： | 2011-01-19 |
| 发明（设计）人： | 王良璧;周文和;王良成;杨建红;常青;令小波;胡万林;任学昌 | 申请（专利权）人： | 兰州交通大学 |
| 主分类号： | G01N27/22 | 分类号： | G01N27/22;B81C1/00 |
| 代理公司： | 甘肃省知识产权事务中心 62100 | 代理人： | 鲜林 |
| 地址： | 730070 甘肃省兰州*** | 国省代码： | 甘肃;62 |
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| 摘要： | 一种聚酰亚胺膜微型快速响应湿度传感元件，为高分子平行板电容式结构，上层金属层为上电极，下层金属层为下电极，上、下金属层之间为感湿层，其特征在于所述上电极为栅状布置，所述感湿层以聚酰亚胺为感湿膜。制作方法是采用微电子工艺，经过：清洗并且氧化极片、蒸镀下电极、涂聚酰亚胺、亚胺化、溅射上电极、一次光刻、二次光刻、三次光刻及切片、压焊、封装等工艺过程制备而成。本发明选用一种新型的聚酰亚胺为感湿材料，吸湿和脱湿响应速度快；上下电极的结构更有利于快速检测湿敏膜中水浓度的细微变化；另外膜厚度的可控范围对快速响应也有贡献，本发明响应速度指标达到500ms。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 聚酰亚胺 微型 快速 响应 湿度 传感 元件 及其 制作方法 | ||
【主权项】：
一种聚酰亚胺膜微型快速响应湿度传感元件，为高分子平行板电容式结构，上层金属层为上电极(1)，下层金属层为下电极(3)，上、下金属层之间为感湿层(2)，其特征在于所述上电极(1)为栅状布置，所述感湿层(2)以聚酰亚胺为感湿膜。
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