[发明专利]基板内部缺陷检查装置及方法

摘要

本发明提供一种基板内部缺陷检查装置及方法，该装置包含至少一光源、一取像模块，以及一遮光罩。光源设在该基板的其中一侧面处，该光源朝该侧面发射一可对应穿透该基板的光线，该光线相对该侧面的入射角度限制在一可使该光线在该基板内可大致以全反射方式传递的第一预定角度内。取像模块设于该基板的上方，用以撷取该基板的上表面的影像。遮光罩，设置于该取像模块与该基板之间，用以遮蔽该基板的上表面的至少一侧的边缘。借此，若光线于基板内传导时遭遇内部缺陷时，则会缺陷处形成亮点，以借取像模块检测到此缺陷的位置。本发明还提供一种基板内部缺陷检查方法，可确实提高内部缺陷较佳的影像清晰度。

主权项

一种基板内部缺陷检查方法，用以对一基板进行内部缺陷检查，该基板具有一上表面，以及连接该上表面的多个侧面，其特征在于，该基板内部缺陷检查方法包含：提供多个光源，分别设在该基板的各该侧面处，各该光源朝各该侧面发射一对应穿透该基板的光线，并使该光线相对该侧面的入射角度限制在一使该光线在该基板内以全反射方式传递的第一预定角度内；以及提供一取像模块，设于该基板的上方，并撷取该基板的上表面的影像，借此，轮流使该多个光源朝对应的侧面发射光线，并在任一光源朝对应的侧面发射光线时，以该取像模块对应撷取靠近另一相反的侧面的该上表面的半部区域影像，并将该多个半部区域影像合成为一该上表面的完整影像。