[发明专利]一种短路缺陷测试装置和方法

摘要

本发明提供了一种短路缺陷测试装置和方法，该装置包括：若干梳型结构体及两个接线端；梳型结构体由若干等间距相互平行的直线型金属连线和与之相连的金属导线组成；梳型结构体在两个所述接线端之间交替排列，且相邻梳型结构体的直线型金属连线相对间插，相邻所述梳型结构体的金属导线分别向同侧延伸直到与接线端连接；直线型金属连线的间插部分的长度范围是1微米到20微米。在本发明提供的装置中采用OBRICH技术查找短路缺陷时，可以在保持较长总有效长度的条件下，将短路缺陷定位到两条间插的直线型金属连线上，不但增加了检测的灵敏度和定位精确度，而且缩短了后续使用物理分析手段观察分析短路缺陷形貌所需的查找时间，提高了失效分析的效率。

主权项

一种短路缺陷测试装置，其特征在于，该装置包括，若干第一梳型结构体、若干第二梳型结构体、第一接线端和第二接线端；第一梳型结构体由作为梳把的第一金属导线和作为梳齿的若干第一直线型金属连线组成，所述第一直线型金属连线等间距相互平行，且一端与所述第一金属导线相连；第二梳型结构体由作为梳把的第二金属导线和作为梳齿的若干第二直线型金属连线组成，所述第二直线型金属连线等间距相互平行，且一端与所述第二金属导线相连；第一梳型结构体与第二梳型结构体交替排列，且第一直线型金属连线与第二直线型金属连线相对间插，并位于相互平行的所述第一接线端与第二接线端之间；第一梳型结构体的第一金属导线向一侧延伸与该侧的第一接线端连接，第二梳型结构体的第二金属导线向另一侧延伸与该侧的第二接线端连接。