[发明专利]摆臂式三维轮廓仪无效
| 申请号： | 201010266710.0 | 申请日： | 2010-08-24 |
| 公开（公告）号： | CN101936699A | 公开（公告）日： | 2011-01-05 |
| 发明（设计）人： | 景洪伟;吴时彬;林昭珩 | 申请（专利权）人： | 中国科学院光电技术研究所 |
| 主分类号： | G01B5/20 | 分类号： | G01B5/20;G01B5/28 |
| 代理公司： | 中科专利商标代理有限责任公司 11021 | 代理人： | 梁爱荣 |
| 地址： | 610209 *** | 国省代码： | 四川;51 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种摆臂式三维轮廓仪，该轮廓仪包括：测头系统、横臂、立柱、配重、被测平面元件、工件转台和横臂转台，立柱的一端部位于横臂转台的安装孔中并固定连接，横臂位于立柱的另一端部安装孔中；在横臂的一端部设置有配重，在横臂的另一端部设置有测头系统；工件转台上置有被测平面元件；测头系统的探测端与被测平面元件接触；所述的横臂和立柱，用于完成测头系统的旋转运动；所述的配重用于平衡测头系统和横臂以保证横臂转台保持平稳的旋转。本发明的检测仪可用于大口径、高精度平面元件三维表面轮廓的测量和分析，可测量的参数有三维形貌图、二维形貌图、PV、RMS、三维形貌体积。 | ||
| 搜索关键词： | 摆臂式 三维 轮廓仪 | ||
【主权项】：
一种摆臂式三维轮廓仪，其特征在于，该轮廓仪包括：测头系统、横臂、立柱、配重、被测平面元件、工件转台和横臂转台，立柱的一端部位于横臂转台的安装孔中并固定连接，横臂位于立柱的另一端部安装孔中；在横臂的一端部设置有配重，在横臂的另一端部设置有测头系统；工件转台上置有被测平面元件；测头系统的探测端与被测平面元件接触；所述的横臂和立柱，用于完成测头系统的旋转运动；所述的配重用于平衡测头系统和横臂以保证横臂转台保持平稳的旋转。
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