[发明专利]一种外延片托盘及与其配合的支撑和旋转联接装置有效
| 申请号： | 201010263418.3 | 申请日： | 2010-08-19 |
| 公开（公告）号： | CN101922042A | 公开（公告）日： | 2010-12-22 |
| 发明（设计）人： | 金小亮;陈爱华;孙仁君;张伟 | 申请（专利权）人： | 华晟光电设备(香港)有限公司 |
| 主分类号： | C30B25/12 | 分类号： | C30B25/12 |
| 代理公司： | 上海信好专利代理事务所(普通合伙) 31249 | 代理人： | 张静洁 |
| 地址： | 中国香港湾仔谢斐道*** | 国省代码： | 中国香港;81 |
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| 摘要： | 用于MOCVD反应腔的外延片托盘及与其配合的支撑和旋转联接装置，在机械装卸托盘时，通过托盘底部中心向外凸出的转轴，插入与其垂直的驱动轴顶部的沉孔中，利用分别设置的平行于托盘表面的接触面或对应侧面上的接触面支撑托盘，利用该接触面间的摩擦传动当驱动轴旋转时，带动托盘旋转。通过设置轴向定位槽和定位键，从摩擦传动转变为接触传动，保证托盘转动与驱动轴转动一致，提高托盘在中高速下长期转动的可靠性。凸出的托盘转轴易于对摩擦接触的表面进行加工处理，在保证托盘上对应部位的机械强度的条件下，不增加托盘的整体厚度，减少了托盘的热容量，从而减少了托盘加热与冷却需要的时间，提高了生产效率并有利于外延反应需要的快速温度调节控制。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 外延 托盘 与其 配合 支撑 旋转 联接 装置 | ||
【主权项】：
一种外延片托盘及与其配合的支撑和旋转联接装置，包含放置在MOCVD反应腔(50)中可机械装卸的托盘(10)，以及从下方与所述托盘(10)的底面(12)中心联接的垂直驱动轴(20)；所述反应腔(50)中引入有若干反应气体，对所述托盘(10)上放置的若干外延片(40)进行外延反应或薄膜沉积，其特征在于，所述托盘(10)的上表面设有若干浅凹盘，对应放置若干外延片；所述托盘(10)的底部中间设置有向外凸出的托盘转轴(100)；所述驱动轴(20)的顶部开设有沉孔(200)；在当所述托盘(10)由机械放入反应腔(50)中时，至少所述托盘转轴(100)的一部份插入所述驱动轴(20)顶部对应的沉孔(200)中，通过托盘转轴(100)与沉孔(200)上对应设置的接触面的耦合联接定位并支撑所述托盘(10)在反应腔(50)中的位置，并且使所述驱动轴(20)旋转时带动所述托盘(10)旋转。
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