[发明专利]具有金属保护的光刻胶剥离液组合物无效
| 申请号： | 201010262392.0 | 申请日： | 2010-08-25 |
| 公开（公告）号： | CN102141743A | 公开（公告）日： | 2011-08-03 |
| 发明（设计）人： | 刘翘楚;李海荣;王寅生 | 申请（专利权）人： | 上海飞凯光电材料股份有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/42 | 分类号： | G03F7/42 |
| 代理公司： | 上海浦一知识产权代理有限公司 31211 | 代理人： | 潘诗孟 |
| 地址： | 201206 *** | 国省代码： | 暂无信息 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明公开了一种具有金属保护的光刻胶剥离液组合物，由下列重量百分比的物质组成：季铵类氢氧化物0.1-10％；水溶性链烷醇胺5-30％；水溶性有机极性溶剂55-94.4％；糖醇类添加剂0.5-5％；上述水溶性有机极性溶剂为砜类、亚砜类、酰胺类或内酰胺类溶剂。相对于已有的剥离液组合物，本发明在保有优异的光刻胶剥离性能同时，对于光刻胶覆盖下的金属基镀膜层，特别是铜和铝的抗腐蚀性优良，对铜的侧蚀保护效果良好。同时该剥离液组合物具有低挥发性以及低毒性，并且容易用去离子水清洗干净，具有良好的可操作性能。本发明用于半导体元件制造过程中对于光刻胶掩模的剥离和溶解。 | ||
| 搜索关键词： | 具有 金属 保护 光刻 剥离 组合 | ||
【主权项】：
一种具有金属保护的光刻胶剥离液组合物，由下列重量百分比的物质组成：季铵类氢氧化物0.1‑10％；水溶性链烷醇胺5‑30％；水溶性有机极性溶剂55‑94.4％；糖醇类添加剂0.5‑5％；上述水溶性有机极性溶剂为砜类、亚砜类、酰胺类或内酰胺类溶剂。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于上海飞凯光电材料股份有限公司，未经上海飞凯光电材料股份有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201010262392.0/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：泡棉鞋垫铣削机床
- 下一篇：声响玩具图像识别与噪声自动检测平台
