[发明专利]基于哈特曼-夏克传感器的透镜参数测试系统及方法

摘要

本发明涉及一种基于哈特曼-夏克传感器的透镜参数测试系统及方法，通过对被测透镜入射一束参考光，使用波前传感器对出射被测透镜的光波前加以探测，重构光波前并计算波前的汇聚/发散中心从而获得正/负透镜焦距、焦点与主面位置；使用不同波长的入射光入射被测透镜，可获得不同波长的焦距、焦点与主面位置；对重构并还原的波前进行波前分析，根据波前叠加原理，使用最小二乘法将测得的波前展开为像差基元的叠加形式，使得每个像差基元都对应有一定大小的权重因子，讨论权重因子的分布可得到透镜像差的分布情况。可以全面地考察透镜的焦距参数与像差品质，结合波长可调的激光器，还可实现对色差的测量，考察不同波长情况下透镜焦距与像差分布的变化情况。

主权项

一种基于哈特曼‑夏克传感器的透镜参数测试系统，其特征在于，依次包括三个波长可调激光光源、分光镜、信标光准直系统、口径控制系统、被测透镜、哈特曼‑夏克波前传感器和计算机，三个波长可调激光光源分别垂直指向分光镜的三个入射面，信标光准直系统位于三路信标光共同的出射方向；孔径控制装置位于信标光准直系统的后方；三个波长可调激光光源、分光镜、信标光准直系统和口径控制装置共同组成信标光输出光路，被测透镜置于信标光输出光路的出射端；哈特曼‑夏克波前传感器位于靠近被测透镜的出射端，哈特曼‑夏克波前传感器和三个波长可调激光光源连接同一计算机，计算机对数据进行处理。