[发明专利]基于微机械的电磁激励谐振式压力传感器

摘要

一种基于微机械的电磁激励谐振式压力传感器，涉及微机械传感技术，传感器上有三组谐振器，谐振器由压力膜上的锚点固支，并置于框架的对角线上，谐振器上有电极。加有激励信号的谐振器在外加磁场的作用下由磁场力激振，当外界有待测压力时，压力膜上产生应变，应变通过锚点传递到谐振器上改变谐振器的刚度，从而改变谐振器的固有频率，检测拾振电极输出信号的频率即可测量外界待测压力的大小。传感器有两种封装方式，都采用了热膨胀系数与单晶硅基本相同的陶瓷环进行应力隔离。本发明传感器的谐振器工作于水平振动模态；用差动输出抑制了温度等外界因素引起的漂移，提高了灵敏度；采用浓硼扩散自停止腐蚀技术释放谐振器，工艺简单，一致性好。

主权项

一种基于微机械的电磁激励谐振式压力传感器，其特征在于，包括锚点(2)、谐振器(3)、压力敏感膜(4)和框架(5)，其中：在框架(5)内侧壁中部水平设有压力敏感膜(4)，在压力敏感膜(4)的一对角线上，位于压力敏感膜(4)上表面中部设有二个锚点(2)，二锚点(2)上端和相应的框架(5)对角线的端点上端固接有多组谐振器(3)；多组谐振器(3)首尾相接的直线设置，跨置于与框架(5)、锚点(2)、锚点(2)、框架(5)之间，与压力敏感膜(4)的上述一对角线走向重合；多组谐振器(3)的驱动端与驱动电路电连接，另一拾振端，输出谐振器的谐振频率，与检测电路电连接。