[发明专利]投影物镜系统中光学元件重力变形气压差补偿装置及方法

摘要

投影物镜系统中光学元件重力变形气压差补偿装置及方法，涉及一种光学元件重力补偿的装置及方法，它解决了现有光学元件重力补偿装置安装调试困难，制造成本高，无法实现光学元件的中心区域补偿等问题，它包括第一镜筒单元组件、第二镜筒单元组件、隔圈、第一气体压力传感器、第二气体压力传感器和第三气体压力传感器；所述第一镜筒单元组件与第二镜筒单元组件之间设置隔圈；其方法为：气体压力传感器测量密封腔内的气压，将信号经数据采集卡输入到主控制器；主控制器调整供气管道和排气管道工作状态，进而实现光学元件的重力补偿。本发明适用于深紫外投影光刻物镜系统的光学元件重力补偿。

主权项

投影物镜系统中光学元件重力变形气压差补偿装置，其特征是，它包括第一镜筒单元组件(1)、第二镜筒单元组件(2)、隔圈(3)、第一气体压力传感器(7)、第二气体压力传感器(8)和第三气体压力传感器(9)；所述第一镜筒单元组件(1)与第二镜筒单元组件(2)之间设置隔圈(3)；所述第一镜筒单元组件(1)包括第一镜筒单元(1 1)、第一镜框单元(1 2)、第二镜框单元(1 3)、第一光学元件(1 4)和第二光学元件(1 5)；所述第一镜筒单元(1 1)为环形结构；第一镜框单元(1 2)和第二镜框单元(1 3)依次安装在第一镜筒单元(1 1)内；所述第一光学元件(1 4)和第二光学元件(1 5)分别设置在第一镜框单元(1 2)和第二镜框单元(1 3)内；第二镜筒单元组件(2)包括第二镜筒单元(2 1)、第三镜框单元(2 2)、第四镜框单元(2 3)、第三光学元件(2 4)和第四光学元件(2 5)；所述第三镜框单元(2 2)和第四镜框单元(2 3)依次安装在第二镜筒单元(2 1)内；第三光学元件(2 4)和第四光学元件(2 5)分别设置在第三镜框单元(2 2)和第四镜框单元(2 3)内；所述第一光学元件(1 4)和第二光学元件(1 5)之间形成第一密封腔(4)；所述第一密封腔(4)内设置第一气体压力传感器(7)；第二光学元件(1 5)与第三光学元件(2 4)之间形成第二密封腔(5)；第三光学元件(2 4)与第四光学元件(2 5)之间形成第三密封腔(6)；所述第三密封腔(6)内设置第三气体压力传感器(9)；所述第二光学元件(1 5)与第三光学元件(2 4)之间形成的第二密封腔(5)由隔圈(3)形成；所述隔圈(3)上设置第二气体压力传感器(8)；所述第一密封腔(4)的右侧设置第一进气管道(10)，第一密封腔的左侧设置第一排气管道(11)；所述第二密封腔(5)的右侧设置第二进气管道(12)，第二密封腔的左侧设置第二排气管道(13)；所述第三密封腔(6)的右侧设置第三进气管道(14)，第三密封腔的左侧设置第三排气管道(15)。