[发明专利]样片去胶装置及方法无效
| 申请号： | 201010238028.0 | 申请日： | 2010-07-27 |
| 公开（公告）号： | CN102338993A | 公开（公告）日： | 2012-02-01 |
| 发明（设计）人： | 王磊;景玉鹏 | 申请（专利权）人： | 中国科学院微电子研究所 |
| 主分类号： | G03F7/32 | 分类号： | G03F7/32;G03F7/30 |
| 代理公司： | 北京市德权律师事务所 11302 | 代理人： | 王建国 |
| 地址： | 100029 *** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明公开了样片去胶装置包括：用于提供超纯去离子水的去离子水储罐、用于对所述超纯去离子水加热，使其成为水蒸气和去离子水的混合流体的热交换器及使用所述混合流体对样片进行去胶的去胶腔室；所述去离子水储罐的出口与所述热交换器的入口连接；所述热交换器的出口与所述去胶腔室的入口相连。本发明还提供样片去胶方法包括：形成水蒸气和去离子水的混合流体；及使用所述混合流体对样片进行去胶。通过本发明将无机碳化厚层和底部有机光刻胶以及固化后的光刻胶全部去除。去胶效率较高，无残留物，薄膜材料的损失最小化。 | ||
| 搜索关键词： | 样片 装置 方法 | ||
【主权项】：
一种样片去胶装置，其特征在于，包括：用于提供超纯去离子水的去离子水储罐、用于对所述超纯去离子水加热，使其成为水蒸气和去离子水的混合流体的热交换器及使用所述混合流体对样片进行去胶的去胶腔室；所述去离子水储罐的出口与所述热交换器的入口连接；所述热交换器的出口与所述去胶腔室的入口相连。
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