[发明专利]低功耗半导体存储器及其制作方法、驱动方法有效
| 申请号： | 201010233925.2 | 申请日： | 2010-07-19 |
| 公开（公告）号： | CN102339828A | 公开（公告）日： | 2012-02-01 |
| 发明（设计）人： | 梁擎擎;钟汇才;朱慧珑 | 申请（专利权）人： | 中国科学院微电子研究所 |
| 主分类号： | H01L27/105 | 分类号： | H01L27/105;H01L21/8239 |
| 代理公司： | 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 | 代理人： | 骆苏华 |
| 地址： | 100029 *** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 一种低功耗半导体存储器及其制作方法、驱动方法。所述低功耗半导体存储器包括存储晶体管与控制晶体管，其中，所述控制晶体管包含有输入端与输出端，所述控制晶体管的输出端与存储晶体管的体区相连接；在所述控制晶体管开启时，其输入端加载的输入电压输出至存储晶体管的体区，使得所述存储晶体管的体区电位变化，而所述存储晶体管体区电位用于标记存储数据。本发明的低功耗半导体存储器采用垂直隧穿场效应管控制存储器的数据读写操作，既降低了存储器的最小开启电压，又提高了器件的开关速度；同时，通过改变存储晶体管的体区电位来标记数据存储情况，体区较小的寄生电容降低了数据写入操作时对充电电流的要求，从而有效降低了器件功耗。 | ||
| 搜索关键词： | 功耗 半导体 存储器 及其 制作方法 驱动 方法 | ||
【主权项】：
一种低功耗半导体存储器，其特征在于，包括存储晶体管与控制晶体管，其中，所述控制晶体管包含有输入端与输出端，所述控制晶体管的输出端与存储晶体管的体区相连接；在所述控制晶体管开启时，其输入端加载的输入电压输出至存储晶体管的体区，使得所述存储晶体管的体区电位变化，而所述存储晶体管体区电位用于标记存储数据。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L27-00 由在一个共用衬底内或其上形成的多个半导体或其他固态组件组成的器件
H01L27-01 .只包括有在一公共绝缘衬底上形成的无源薄膜或厚膜元件的器件
H01L27-02 .包括有专门适用于整流、振荡、放大或切换的半导体组件并且至少有一个电位跃变势垒或者表面势垒的；包括至少有一个跃变势垒或者表面势垒的无源集成电路单元的
H01L27-14 . 包括有对红外辐射、光、较短波长的电磁辐射或者微粒子辐射并且专门适用于把这样的辐射能转换为电能的，或适用于通过这样的辐射控制电能的半导体组件的
H01L27-15 .包括专门适用于光发射并且包括至少有一个电位跃变势垒或者表面势垒的半导体组件
H01L27-16 .包括含有或不含有不同材料结点的热电元件的；包括有热磁组件的
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