[发明专利]一种固定音圈电机直驱式X-Y微动平台

摘要

本发明涉及一种直线电机直驱的二维微动平台，为一种固定音圈电机直驱式X-Y微动平台，包括基座、音圈直线电机、X向运动平台、Y向运动平台、解耦部件和光栅尺等。音圈直线电机直接驱动X-Y二维微动平台；X方向和Y方向音圈直线电机均固接于底座，通过解耦部件实现X向和Y向的运动；利用光栅尺来检测电机位置。本发明为提高运动速度和运动精度，屏弃了传统的旋转电机传动机构，采用直线电机直接驱动；为降低运动惯量，设计了解耦部件，X、Y向直线电机均固定来实现X-Y二维运动；为实现高精度、高稳定性的运动，使用了光栅尺作为反馈元件；体现了高速、高加速度、高精度和高稳定性，可应用在高速自动化设备、电子与半导体加工设备和激光加工设备等领域。

主权项

一种固定音圈电机直驱式X Y微动平台，其特征在于，它包括底座(7)、X向音圈直线电机(13)、Y向音圈直线电机(3)、X向运动平台(10)、Y向运动平台(8)、解耦部件(6)、X向直线光栅尺尺带(14)、X向光栅读头(15)、Y向直线光栅尺尺带(1)、Y向光栅读头(2)；X向运动平台(10)由X向运动平台基板(9)和两个直线导轨副(17)组成，两个直线导轨副(17)平行于X轴向安装；Y向运动平台(8)由Y向运动平台基板(18)和两个直线导轨副(19)组成，两个直线导轨副(19)平行于Y轴向安装；解耦部件(6)由解耦部件基板(20)和两个直线导轨副(21)组成，两个直线导轨副(21)平行于X轴向安装；X向音圈直线电机(13)和Y向音圈直线电机(3)都固定安装在底座(7)上；X向运动平台(10)通过支撑座(16)固定安装在底座(7)上，其中X向运动平台基板(9)与支承座(16)和直线导轨副(17)中的导轨固结；第一联轴器(12)联接X向推力板(11)和X向音圈直线电机(13)，X向推力板(11)与连接板(23)固接；X向运动平台只能在X向做往复运动；Y向运动平台(8)通过Y向运动平台基板(18)安装在X向运动平台(10)上，直线导轨副(19)中的导轨与连接板(23)固结，滑块与Y向运动平台基板(18)固结；解耦部件(6)位于Y向运动平台(8)上方，直线导轨副(21)的导轨与工件平台(22)固结，滑块与解耦部件基板(20)固结，工作平台(22)与连接板(23)固结；第二联轴器(4)联接Y向推力板(5)和Y向音圈直线电机(3)，Y向推力板(5)固接在解耦部件基板(20)上；X向音圈直线电机(13)的轴末端安装X向直线光栅尺尺带(14)和X向光栅读头(15)，Y向音圈直线电机(3)的轴末端安装Y向直线光栅尺尺带(1)和Y向光栅读头(2)。