[发明专利]一种消除或减小激光外差干涉法中非线性误差的方法有效

专利信息
申请号: 201010228993.X 申请日: 2010-07-16
公开(公告)号: CN101893448A 公开(公告)日: 2010-11-24
发明(设计)人: 孙强;李也凡 申请(专利权)人: 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
主分类号: G01D3/028 分类号: G01D3/028;G01D3/032;G02B5/30;G02B27/10
代理公司: 长春菁华专利商标代理事务所 22210 代理人: 南小平
地址: 130033 吉*** 国省代码: 吉林;22
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摘要: 发明消除或减小激光外差干涉法中非线性误差的方法属于精密测量技术中的光外差干涉法技术领域,该方法是:在参与干涉的激光光束中,加入经过幅值调整和相位调整的新的光线,该新光线与生成非线性误差的光信号频率相同、振幅相同、相位相反,以抵消生成非线性误差的光信号对激光外差干涉法的干扰。本发明的有益效果是:该方法能够有效地消除或降低非线性误差,提高测量精度。
搜索关键词: 一种 消除 减小 激光 外差 干涉 中非 线性 误差 方法
【主权项】:
一种消除或减小激光外差干涉法中非线性误差的方法,其特征在于,在参与干涉的激光光束中,加入经过幅值调整和相位调整的新的光线,该新的光线与生成非线性误差的光信号频率相同、振幅相同、相位相反,以抵消生成非线性误差的光信号对激光外差干涉法的干扰。
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