[发明专利]不锈钢表面处理方法有效
| 申请号: | 201010228088.4 | 申请日: | 2010-07-08 |
| 公开(公告)号: | CN101906655A | 公开(公告)日: | 2010-12-08 |
| 发明(设计)人: | 方刚;祝恒阳;王茂林 | 申请(专利权)人: | 北京七星华创电子股份有限公司 |
| 主分类号: | C25F3/24 | 分类号: | C25F3/24;C23C22/50;C23C22/08;C23C22/82 |
| 代理公司: | 北京路浩知识产权代理有限公司 11002 | 代理人: | 王莹 |
| 地址: | 100016 北京市*** | 国省代码: | 北京;11 |
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| 摘要: | 本发明涉及一种不锈钢表面处理方法,该方法包括步骤:对待处理不锈钢零部件表面进行光饰、脱脂、去污以及清洗;对经光饰、脱脂、去污以及清洗处理后的不锈钢零部件进行电化学抛光;对电化学抛光后的不锈钢零部件进行钝化;对钝化后的不锈钢零部件进行精密清洗;对经精密清洗后的不锈钢零部件进行净化、干燥及烘干;无尘室检验,并对其进行双层防静电袋包装和真空密封。该方法处理后的不锈钢部件符合半导体制程及设备制造、太阳能、微电子、电气、餐饮食品、生物制药、医学医疗、分析仪器、石化及航空航天等尖端行业的使用要求,完全符合SEMI、ASTM等标准关于不锈钢表面高洁净超高纯(UHP)的规定。 | ||
| 搜索关键词: | 不锈钢 表面 处理 方法 | ||
【主权项】:
一种不锈钢表面处理方法,该方法包括步骤:S1.对待处理不锈钢零部件表面进行光饰、脱脂、去污以及清洗;S2.对经光饰、脱脂、去污以及清洗处理后的所述不锈钢零部件进行电化学抛光;S3.对电化学抛光后的所述不锈钢零部件进行钝化;S4.对钝化后的所述不锈钢零部件进行精密清洗;S5.用氮气对经精密清洗后的所述不锈钢零部件进行净化、干燥及烘干;S6.对净化、干燥及烘干后的所述不锈钢零部件进行无尘室检验,并对其进行双层防静电袋包装和真空密封。
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