[发明专利]一种光子筛无效
| 申请号: | 201010227193.6 | 申请日: | 2010-07-07 |
| 公开(公告)号: | CN102313918A | 公开(公告)日: | 2012-01-11 |
| 发明(设计)人: | 谢常青;潘一鸣;朱效立;刘明 | 申请(专利权)人: | 中国科学院微电子研究所 |
| 主分类号: | G02B5/18 | 分类号: | G02B5/18 |
| 代理公司: | 中科专利商标代理有限责任公司 11021 | 代理人: | 周国城 |
| 地址: | 100029 *** | 国省代码: | 北京;11 |
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| 摘要: |
本发明公开了一种光子筛,包括透光衬底和镀在该透光衬底上的不透光金属薄膜,所述不透光金属薄膜上分布有多个透光圆孔,所述圆孔呈环带状分布。所述环带半径为rm、环带宽度为wm,其中:rm2=2mfλ+m2λ2;对应rm上的透光圆孔的直径为: |
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| 搜索关键词: | 一种 光子 | ||
【主权项】:
一种光子筛,包括透光衬底和镀在该透光衬底上的不透光金属薄膜,其特征在于,所述不透光金属薄膜上分布有多个透光圆孔,所述圆孔呈环带状分布。
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