[发明专利]一种纱线连续金属镀膜的方法及装置无效

专利信息
申请号: 201010197610.7 申请日: 2010-06-11
公开(公告)号: CN101871166A 公开(公告)日: 2010-10-27
发明(设计)人: 郭兴峰;刘建勇;孟庆涛 申请(专利权)人: 天津工业大学
主分类号: D06M11/83 分类号: D06M11/83;C23C14/35
代理公司: 天津翰林知识产权代理事务所(普通合伙) 12210 代理人: 李济群
地址: 300160*** 国省代码: 天津;12
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摘要: 发明公开一种纱线连续金属镀膜方法及装置。该方法采用如下工艺:1.先将真空室的压力抽至≤2×10-3Pa,然后充入氩气,使真空室的工作压强达到0.5-3.0Pa;2.再把纱线平行往复地连续引进真空室的磁控溅射区内,在100-2000w的溅射功率下镀膜,然后卷绕即得;磁控溅射区是指由两块间隔40-200mm平行放置的矩形靶材构成的区间;纱线通过磁控溅射区内的时间为300-30秒。该装置适用于本发明纱线连续金属镀膜方法,包括真空室和其内两块靶材构成磁控溅射区,其特征在于真空室内按工艺路线还依次安装有退纱筒、张力装置、前导纱转子、后导纱转子、导纱器和卷绕筒以及传动装置和控制机构等。
搜索关键词: 一种 纱线 连续 金属 镀膜 方法 装置
【主权项】:
一种纱线连续金属镀膜方法,该方法采用如下工艺:(1).先将真空室的压力抽至≤2×10-3Pa,然后充入氩气,使真空室的工作压强达到0.5-3.0Pa;(2).再把纱线平行往复地连续引进真空室的磁控溅射区内,在100-2000w的溅射功率下,使金属不断地沉积在纱线的表面上镀膜,然后卷绕即得;所述的磁控溅射区是指由两块间隔40-200mm平行放置的矩形靶材构成的区间;所述纱线通过磁控溅射区内的时间为300-30秒。
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