[发明专利]一种制备具有稳定偏振输出的垂直腔面发射激光器的方法无效
| 申请号： | 201010196119.2 | 申请日： | 2010-06-02 |
| 公开（公告）号： | CN101888058A | 公开（公告）日： | 2010-11-17 |
| 发明（设计）人： | 宋国峰;蔡利康;王青;陈良惠 | 申请（专利权）人： | 中国科学院半导体研究所 |
| 主分类号： | H01S5/183 | 分类号： | H01S5/183;H01S5/10 |
| 代理公司： | 中科专利商标代理有限责任公司 11021 | 代理人： | 周国城 |
| 地址： | 100083 *** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种制备具有稳定偏振输出的垂直腔面发射激光器的方法，该方法包括：在垂直腔面发射激光器出光腔面生长一层增透膜；在该增透膜上镀一层金属膜；腐蚀掉出光腔面以外的增透膜和金属膜；在出光腔面的金属膜上制备亚波长光栅。利用本发明，工艺成熟，可操作性强，可重复性好，器件成品率高，同时VCSEL尺寸较小，阈值较低，便于二维集成，金属亚波长光栅的偏振选择性好，可以提供更好的偏振抑制，实现稳定偏振输出的VCSEL阵列。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 制备 具有 稳定 偏振 输出 垂直 发射 激光器 方法 | ||
【主权项】：
一种制备具有稳定偏振输出的垂直腔面发射激光器的方法，其特征在于，该方法包括：在垂直腔面发射激光器出光腔面生长一层增透膜；在该增透膜上镀一层金属膜；腐蚀掉出光腔面以外的增透膜和金属膜；在出光腔面的金属膜上制备亚波长光栅。
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