[发明专利]沉积设备及其控制方法有效
| 申请号： | 201010193925.4 | 申请日： | 2010-06-01 |
| 公开（公告）号： | CN101906608A | 公开（公告）日： | 2010-12-08 |
| 发明（设计）人： | 黄珉婷;车裕敏;赵源锡;朴在穆;朴宰完;安宰弘 | 申请（专利权）人： | 三星移动显示器株式会社 |
| 主分类号： | C23C14/22 | 分类号： | C23C14/22;C23C14/56;C23C16/44;C23C16/54 |
| 代理公司： | 北京铭硕知识产权代理有限公司 11286 | 代理人： | 郭鸿禧;薛义丹 |
| 地址： | 韩国京畿*** | 国省代码： | 韩国;KR |
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| 摘要： | 本发明涉及一种包括多个反应室的沉积设备及控制该沉积设备的方法。该沉积设备包括：第一室，在沉积主体上沉积第一沉积材料；第二室，在沉积主体上沉积不同的第二沉积材料；第三室，在沉积主体上沉积第一沉积材料；传递室，连接到第一室至第三室，所述传递室将沉积主体传递到第一室至第三室中的至少一个；控制单元，将沉积主体从传递室运输到第一室至第三室中的至少一个。 | ||
| 搜索关键词： | 沉积 设备 及其 控制 方法 | ||
【主权项】：
一种沉积设备，所述沉积设备包括：第一室，在沉积主体上沉积第一沉积材料；第二室，在沉积主体上沉积不同的第二沉积材料；第三室，在沉积主体上沉积第一沉积材料；传递室，连接到第一室至第三室，将沉积主体传递到第一室至第三室中的至少一个；控制单元，将沉积主体从传递室运输到第一室至第三室中的至少一个。
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